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京都玉崎 真空泵EDWARDS半導體專用干式泵
京都玉崎 真空泵EDWARDS半導體專用干式泵
愛德華（EDWARDS）作為真空技術領域的企業(yè)，其真空泵產(chǎn)品憑借清潔、高效、低耗等優(yōu)勢，覆蓋科研、半導體、工業(yè)等多個領域。除了之前提到的部分系列，還有液環(huán)泵、磁懸浮渦輪分子泵等多個適配不同場景的系列，以下是更全面的介紹：

1. 干式渦旋泵系列

• mXDS 系列：峰值速度達 3m3/h，極限真空為 0.1mbar，重量不足 8 千克且?guī)刂剖直奖銛y帶，還支持水平或垂直安裝。配置氣鎮(zhèn)裝置和排氣閥，功率需求低，無油設計無需處理油液，搭配優(yōu)化的風扇冷卻，運行噪音低，mXDS3s 型號還配有電磁閥入口隔離閥和排氣消音器等附件。

• nXDS 系列：泵送速度在 6 - 20m3/h，相比同類泵極限壓力、功耗和噪音都更低，噪聲功率僅 52dB (A)。支持全現(xiàn)場維修，保養(yǎng)間隔長達五年，搭載智能控制裝置，具備寬電壓輸入和遠程控制接口，蒸汽處理能力出色。

• XDS 系列：是干式泵送的行業(yè)標配，泵送速度達 40m3/h。其中 XDS35i 增強型采用雙啟動渦旋技術，初始抽空時峰值電力需求可降 20%，粗抽壓力下泵送速度提升 25%，單側渦旋設計讓維護可在數(shù)分鐘內(nèi)完成，軸承護罩能分離工藝氣體和軸承潤滑。

2. 干式多級羅茨泵 nXRi 系列

   泵送速度 30 - 120m3/h，極限壓力低于 0.03mbar，低壓功耗約 450W，運行噪音僅 55dB (A)。機身緊湊，重量不到 30kg，可安裝在臺面下，節(jié)省空間。配備單相泵控制器，支持遠程控制，還能通過附件連接器自動控制閥門。具備手動氣鎮(zhèn)裝置，水蒸氣泵送容量達 300g/h，五年免維護，是質譜分析、電子顯微鏡等應用的理想選擇，也適配渦輪分子泵。

3. 半導體專用干式泵系列

• iXM 系列：采用 XCEDE 技術，抗腐蝕性較前代提升四倍，高效機制能減少 60% 輸入功率。粉塵處理能力強，適配多層蝕刻工藝，且機身緊湊，運行時噪聲和振動小，能降低化學氣相沉積工藝的功耗。

• iXH 系列：適配嚴苛工藝環(huán)境，寬溫度范圍可減少冷凝和副產(chǎn)物累積。iXH Mk2 型號借助 XCEDE 技術增強耐腐蝕性，創(chuàng)新密封技術能延長制程壽命并降低泄漏風險，在惡劣工況下使用壽命長。

• iXL 系列：屬于低能耗緊湊型，適配晶片處理、PVD 等輕型應用。如 iXL900R 適配真空鎖室抽空，可減少泵的使用數(shù)量并降低運營成本；部分型號有 “綠色模式"，能減少閑置時的能耗。

4. 液環(huán)泵系列

   涵蓋單級和兩級機型，單級泵容量可達 40,000m3/h，兩級泵達 7,500m3/h。其中 ELRi 系列是智能互聯(lián)款，結合了愛德華多年技術積累。該系列專為加工行業(yè)嚴苛場景設計，可定制液環(huán)泵及混合真空系統(tǒng)，適配多種需要大抽量真空的工業(yè)加工場景。

5. 高真空系列

   愛德華的磁懸浮渦輪分子泵系列抽速范圍 47 - 4300L/s，適配高真空需求場景。此外還有捕集離子泵、非蒸散型吸氣泵等，能實現(xiàn) 10^-11 mbar 以下的超高真空甚高真空，常用于高能物理研究、引力波探測等科研領域，比如為 LIGO 天文臺提供的 STP 磁懸浮渦輪分子泵。

6. 其他工業(yè)用泵系列

   包含干式螺桿泵、噴油螺桿泵等多種類型。例如干式螺桿泵可處理制程粉塵，適配光纖生產(chǎn)；油式旋轉葉片泵用于散熱管生產(chǎn)；水封泵浦則適用于礦業(yè)、紙漿和紙業(yè)等領域，部分化學干式泵還可用于蒸汽回收、滅菌等特殊工業(yè)流程。