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無脈動超高精度計量泵 日本FUJI富士
無脈動超高精度計量泵 日本FUJI富士
日本富士技術工業株式會社的這款 ±0.1% 無脈動超高精度計量泵也被稱為超級計量泵，憑借獨特的結構設計和精密加工工藝，實現了高穩定性和精準輸送，廣泛應用于多個高精度需求行業，以下是詳細介紹：

1. 核心結構與技術亮點

• 三連特殊凸輪驅動設計：這是其實現無脈動和高精度的核心。該設計讓 3 根柱塞在往復運動時呈現等加速、勻速、等減速三種不同速度，無論單根或兩根柱塞處于吐出行程，總吐出量始終恒定，同時使吸入側與吐出側流速保持一致，大幅減少氣蝕現象。且閥球運動平滑，既能抑制內泄，又能避免閥座與閥球偏磨損，配合凸輪部、柱塞等接觸液體部位的微米級加工，保障全領域 ±0.1% 的吐出精度。

• 柱塞特殊復位機構：采用 “衣架形" 回程桿連接前后柱塞，形成可精準追隨凸輪運動的復位結構。這種設計使吸入和吐出速度一致，即便在高速運轉或輸送高粘度液體時，凸輪與軸承也能緊密貼合，不會出現柱塞復位不到位的情況，進一步保障輸送穩定性。

• 多元耐腐材質搭配：接液部可選 SUS316、鈦、哈氏合金 B/C 等材質，柱塞有 SUS316 和陶瓷可選，密封件采用超高分子聚乙烯、PTFE 等耐腐蝕材料，O 型圈等配件也提供多種耐溫耐腐材質選項，可適配不同腐蝕性、特殊性輸送介質。

2. 關鍵性能參數

   性能指標	具體范圍
   流量精度	全使用領域內流量再現精度≤±0.1%
   輸出壓力	3.7 - 200MPa
   輸送流量	15.3ml/min - 117.8L/min
   粘度適配	1 - 100mPa·s
   工作溫度	-30 - 200℃
   核心優勢	壓力、粘度變化對吐出量幾乎無影響，吐出量與電機轉速成正比，實現無脈動輸送

3. 主流產品型號

   該系列有 HYSA、HYSB、HYSC、HYSD、HYM 等多個系列型號，適配不同場景需求。例如 HYSA - 06 常應用于半導體行業，能滿足芯片清洗、涂層等工藝的精準輸送需求；HYM 系列接液部還可選用 PTFE、PEEK 材質，適配更多特殊腐蝕性介質，像 HYM - 03、HYM - 06 等型號因流量偏差小，在高精度配比場景中應用廣泛。

4. 核心應用領域

• 半導體與電子行業：在芯片清洗、涂層工藝中，無脈動輸送可避免產品破裂，保障涂層均勻性；同時適配半導體制造中多種特殊介質的精準輸送。

• 化工與新材料領域：中石化、煙臺泰和新材等企業將其用于原材料配比，其高精度保障產品穩定性；日本 NGK 公司也用該泵研發高性能陶瓷載體，攻克了長期未突破的技術難題。

• 制藥行業：輝瑞、諾華等藥企在生產中借助其高精度，實現原料藥配比的精準控制，符合制藥行業嚴苛的質量標準。

• 新能源領域：在鋰電池 PE 膜制造的涂層工藝中發揮作用，保障膜材涂層質量，助力提升鋰電池性能。