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EBARA荏原干式真空泵 半導體 高真空
EBARA荏原干式真空泵 半導體 高真空
 

• 性能參數2

• 抽氣速度：1800L/min，能夠快速有效地抽取氣體，提高工作效率。

• 極限壓力：可達 5Pa，可滿足對真空度要求較高的工藝需求。

• 功率：極限壓力下的近似功率值為 1.2kW，相比同類型產品，節(jié)能效果明顯。

• 電源：有 3 相 / 200V/50Hz、3 相 / 200-220V/60Hz 以及 3 相 / 380-400V/50Hz、3 相 / 380-440V/60Hz 多種電源規(guī)格可供選擇，適配不同的工作環(huán)境。

• 外形尺寸：370×770×450mm，整體結構較為緊湊，占地面積小，便于安裝和布置。

• 質量：170kg，質量適中，方便運輸、安裝和維護。

• 冷卻水流量：3-8L/min，溫度最多 30℃，通過合理的冷卻水流量和溫度控制，保證泵的穩(wěn)定運行。

• 氮氣流量：26-31Pa?m3/s，為泵的運行提供必要的氮氣支持。

• 產品特點

• 高節(jié)能性：采用優(yōu)良的設計和技術，如根部轉子裝置與高扭矩電動機和逆變器的結合，使泵在運行過程中能耗低，節(jié)能，有效降低使用成本68。

• 高負荷適應性：專為苛刻的過程應用而設計，具有獨特的溫度控制和按需轉矩運行能力，能夠在高負載條件下穩(wěn)定運行，滿足半導體、液晶、太陽能電池制造等行業(yè)中高負荷工藝的需求68。

• 耐腐蝕性能好：標準采用耐腐蝕性材料，還可提供進一步的耐腐蝕性改進選項，能夠有效抵抗蝕刻、CVD 等工藝中產生的腐蝕性氣體的侵蝕，延長泵的使用壽命，確保運行安全可靠2。

• 智能控制：搭載高性能通信機能，采用高度制御方式，具備 - 9 保持功能和 -Δ 履歷分化功能，可實現對泵的遠程監(jiān)控和精確控制，方便操作和管理，提高生產過程的自動化程度1。

• 清潔無油：干式設計，避免了潤滑油對工藝過程的污染，符合半導體、制藥等對潔凈度要求的行業(yè)的生產需求，能夠提供無油的真空環(huán)境，保證產品質量5。

• 運行穩(wěn)定可靠：多階段葉瓣設計，相比螺桿式真空泵具有更高的氫氣抽速，且運行更加穩(wěn)定，能夠提供可靠的真空度，減少設備故障和停機時間3。

• 靈活便捷：在 50Hz 和 60Hz 不同頻率下具有相同的性能，適用性強；同時，泵的安裝和維護較為方便，模塊化設計便于快速更換部件，縮短維修時間，降低維護成本25。

• 應用領域5

• 半導體制造：在離子注入、外延生長、光刻等工藝中，為其提供無油、高真空度的環(huán)境，防止晶圓污染，保證半導體器件的質量和性能。

• 新能源電池生產：用于鋰電極片干燥、電解液注液等環(huán)節(jié)，避免油蒸汽對電池性能的影響，其低振動設計也可保護精密設備，有助于提高電池的生產質量和一致性。

• 化工領域：可用于處理揮發(fā)性有機物（VOCs）回收，耐腐蝕的泵體能夠抵抗酸性氣體侵蝕，直接排大氣設計還可簡化廢氣處理流程，同時也適用于其他需要真空環(huán)境的化工工藝，如蒸餾、萃取等。

• 其他領域：還廣泛應用于一般真空、光伏、液晶顯示等行業(yè)，如在光伏產業(yè)的硅片制造、薄膜沉積等工藝中，以及液晶顯示面板生產中的鍍膜、封裝等環(huán)節(jié)，都能發(fā)揮重要作用，為這些行業(yè)的生產過程提供穩(wěn)定可靠的真空支持。