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玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
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HR60ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨式干式真空泵 HR系列
| 參考價(jià) | ￥1666-￥99999 | /件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- HR60 型號(hào)
- ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科 品牌
- 代理商 廠商性質(zhì)
- 深圳市 所在地
訪問(wèn)次數(shù)：34更新時(shí)間：2026-06-06 10:15:10
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- 聯(lián)系人：
- 譚維濤
- 電話(huà)：
- 手機(jī)：
- 18825222238
- 地址：
- 深圳市龍華區(qū)龍華街道松和社區(qū)匯食街一巷7號(hào)3層
- 個(gè)性化：
- www.ebarapump.net
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 價(jià)格區(qū)間 | 10萬(wàn)-30萬(wàn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
|---|
誠(chéng)信為本、專(zhuān)業(yè)高效、客戶(hù)共贏、賦能產(chǎn)業(yè)
成為連接半導(dǎo)體資源與國(guó)內(nèi)終端需求的核心橋梁
產(chǎn)品介紹
ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨式干式真空泵 HR系列ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨式干式真空泵 HR系列
特征
在高溫區(qū)域，超聲化學(xué)氣相沉積和蝕刻過(guò)程
中產(chǎn)生的可升華廢氣可以以氣態(tài)排出。
“UR 型號(hào)"能夠承受比“HR 型號(hào)"更高的溫度。它配備了氦氣密封
罐式電機(jī)，其密封結(jié)構(gòu)使其極其安全。
我們已采取措施防止出現(xiàn)持續(xù)時(shí)間不超過(guò) 1000 毫秒的瞬時(shí)斷電。主要部件均采用特殊表面處理，使其具有高表面硬度和優(yōu)異的
耐腐蝕性。這可減少泵在排出腐蝕性氣體時(shí)內(nèi)部的腐蝕。通信功能
允許您讀取與泵的運(yùn)行狀態(tài)和警告/報(bào)警歷史記錄相關(guān)的數(shù)據(jù)。借助專(zhuān)用軟件，可以通過(guò)計(jì)算機(jī)通信實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。
目的
CVD設(shè)備
蝕刻設(shè)備
灰化裝置
ALD、ALH 等。
規(guī)格
| 模型 | HR60 | HR90 | HR300 | HR600 | HR1200 | ||||
| 泵 | DRP | HR60 | HR90 | HR60 | HR90 | HR90 | |||
| MPB | - | - | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | ||||
| 最大 排氣速度 | 50赫茲 | 立方米/小時(shí)（ 升/分鐘） | 62(1030) | 112 (1860) | 359 (5,980) | 653 (10,900) | 1,012 (16,900) | ||
| 60赫茲 | 立方米/小時(shí)（ 升/分鐘） | 80(1333) | 126(2100) | 365 (6,080) | 701（11,700） | 1,051 (17,500) | |||
| 極限壓力 | 賓夕法尼亞州 | 5 | 0.67 | ||||||
| 最大進(jìn)氣壓力 （進(jìn)氣壓力） | 大氣壓*1 | ||||||||
| 最大排氣壓力 （排放壓力） | 賓夕法尼亞州 | 1 ~ 大氣壓 | |||||||
| 進(jìn)氣口（CE規(guī)范） | VG50 (KF50) | VG80 (KF50) | VG80 (KF80) | VG100 (KF100) | |||||
| 排氣口 | KF40 | ||||||||
| 大量的 | 公斤 | 180 | 245 | 275 | 370 | 420 | |||
| 電力 | 三相 | 交流電（赫茲） | 200 (50/60), 220 (60) | ||||||
| 當(dāng)前值 | 穩(wěn)定狀態(tài) | 一個(gè) | 7.1 （200V時(shí)） | 11.2 （200V時(shí)） | 7.8 （200V時(shí)） | 12.9 （200V時(shí)） | 15.4 （200V時(shí)） | ||
| 最大值 | 一個(gè) | 7.3 （200V時(shí)） | 11.8 （200V時(shí)） | 8.1 （200V時(shí)） | 13.8 （200V時(shí)） | 18.9 （200V時(shí)） | |||
| 冷卻水一次壓力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | |||||||
| 冷卻水進(jìn)/出口壓差 | 兆帕 | >0.1 | |||||||
| 冷卻水流量 | 升/分鐘 | >5.0 | |||||||
| 吹掃氣體 | 一次壓力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | ||||||
| 二次壓力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | |||||||
| N2吹掃 | 軸 | 空間光調(diào)制 | 5 | ||||||
| 加斯巴拉 | 空間光調(diào)制 | 0-45 | |||||||
*1 請(qǐng)勿在 200 Pa 或更高的吸力壓力下連續(xù)操作 HR300、HR600 或 HR1200。
尺寸圖
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