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玉崎科學儀器（深圳）有限公司
中級會員·2年您現在的位置： 玉崎科學儀器（深圳）有限公司>>ULVAC愛發科 優勢品牌>> HR300ULVAC愛發科 多級羅茨式干式真空泵 HR系列
產品簡介
| 價格區間 | 10萬-30萬 | 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
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誠信為本、專業高效、客戶共贏、賦能產業
成為連接半導體資源與國內終端需求的核心橋梁
產品介紹
ULVAC愛發科 多級羅茨式干式真空泵 HR系列ULVAC愛發科 多級羅茨式干式真空泵 HR系列
特征
在高溫區域，超聲化學氣相沉積和蝕刻過程
中產生的可升華廢氣可以以氣態排出。
“UR 型號"能夠承受比“HR 型號"更高的溫度。它配備了氦氣密封
罐式電機，其密封結構使其極其安全。
我們已采取措施防止出現持續時間不超過 1000 毫秒的瞬時斷電。主要部件均采用特殊表面處理，使其具有高表面硬度和優異的
耐腐蝕性。這可減少泵在排出腐蝕性氣體時內部的腐蝕。通信功能
允許您讀取與泵的運行狀態和警告/報警歷史記錄相關的數據。借助專用軟件，可以通過計算機通信實現集中監控。
目的
CVD設備
蝕刻設備
灰化裝置
ALD、ALH 等。
規格
| 模型 | HR60 | HR90 | HR300 | HR600 | HR1200 | ||||
| 泵 | DRP | HR60 | HR90 | HR60 | HR90 | HR90 | |||
| MPB | - | - | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | ||||
| 最大 排氣速度 | 50赫茲 | 立方米/小時（ 升/分鐘） | 62(1030) | 112 (1860) | 359 (5,980) | 653 (10,900) | 1,012 (16,900) | ||
| 60赫茲 | 立方米/小時（ 升/分鐘） | 80(1333) | 126(2100) | 365 (6,080) | 701（11,700） | 1,051 (17,500) | |||
| 極限壓力 | 賓夕法尼亞州 | 5 | 0.67 | ||||||
| 最大進氣壓力 （進氣壓力） | 大氣壓*1 | ||||||||
| 最大排氣壓力 （排放壓力） | 賓夕法尼亞州 | 1 ~ 大氣壓 | |||||||
| 進氣口（CE規范） | VG50 (KF50) | VG80 (KF50) | VG80 (KF80) | VG100 (KF100) | |||||
| 排氣口 | KF40 | ||||||||
| 大量的 | 公斤 | 180 | 245 | 275 | 370 | 420 | |||
| 電力 | 三相 | 交流電（赫茲） | 200 (50/60), 220 (60) | ||||||
| 當前值 | 穩定狀態 | 一個 | 7.1 （200V時） | 11.2 （200V時） | 7.8 （200V時） | 12.9 （200V時） | 15.4 （200V時） | ||
| 最大值 | 一個 | 7.3 （200V時） | 11.8 （200V時） | 8.1 （200V時） | 13.8 （200V時） | 18.9 （200V時） | |||
| 冷卻水一次壓力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | |||||||
| 冷卻水進/出口壓差 | 兆帕 | >0.1 | |||||||
| 冷卻水流量 | 升/分鐘 | >5.0 | |||||||
| 吹掃氣體 | 一次壓力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | ||||||
| 二次壓力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | |||||||
| N2吹掃 | 軸 | 空間光調制 | 5 | ||||||
| 加斯巴拉 | 空間光調制 | 0-45 | |||||||
*1 請勿在 200 Pa 或更高的吸力壓力下連續操作 HR300、HR600 或 HR1200。
尺寸圖
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