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玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
中級(jí)會(huì)員·2年
BH-I250MIYUKI美幸輝 真空蝶閥BH-I
| 參考價(jià) | ￥1666-￥99999 | /件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- BH-I250 型號(hào)
- MIYUKI/美幸輝 品牌
- 代理商 廠商性質(zhì)
- 深圳市 所在地
訪問次數(shù)：11更新時(shí)間：2026-06-23 14:13:58
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產(chǎn)品簡介
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
BH 是美幸輝雙氣缸兩段式三工位氣動(dòng)蝶閥，核心解決精密腔體氣流沖擊、膜層損傷、物料飛濺問題；單閥集成慢抽 / 慢破空 + 快速大通流，無需額外旁路針閥，簡化真空管路，是半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜、鋰電真空工藝標(biāo)配閥款。
產(chǎn)品介紹
MIYUKI美幸輝 真空蝶閥BH-I
MIYUKI美幸輝 真空蝶閥BH-I
一、產(chǎn)品定位
BH 是美幸輝雙氣缸兩段式三工位氣動(dòng)蝶閥，核心解決精密腔體氣流沖擊、膜層損傷、物料飛濺問題；單閥集成慢抽 / 慢破空 + 快速大通流，無需額外旁路針閥，簡化真空管路，是半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜、鋰電真空工藝標(biāo)配閥款。同品牌功能區(qū)分：
B 系列：單氣缸、僅全開 / 全關(guān)，純隔斷通斷
BH 系列：雙氣缸、三檔位（全關(guān)→0~45° 慢開度→90° 全開），快慢分段充排氣
BAR/BAZ：電動(dòng)連續(xù)調(diào)節(jié)，用于穩(wěn)態(tài)壓力 PID 調(diào)壓
二、型號(hào)完整命名規(guī)則
命名格式：BH - 法蘭代碼 + 通徑
BH：兩段雙氣缸快慢動(dòng)作氣動(dòng)蝶閥
法蘭代碼
N：KF/NW 快裝法蘭（小型腔體、實(shí)驗(yàn)室）
J：JIS 日標(biāo)法蘭（日系半導(dǎo)體 / 鍍膜設(shè)備主力）
I：ISO-F 大法蘭（大流量蒸鍍、鋰電爐主管）
C：CF 刀口金屬法蘭（超高真空、可烘烤無油腔體）
數(shù)字：公稱通徑 DN
示例：
BH-N63：KF63 兩段緩抽閥
BH-J100：JIS100 日標(biāo)兩段蝶閥
BH-I250：ISO250 大口徑快慢抽氣閥
BH-C80：CF80 超高真空可烘烤款
三、三段動(dòng)作原理（核心優(yōu)勢）
雙氣缸兩段驅(qū)動(dòng)，三個(gè)固定工位，可 PLC 時(shí)序控制自動(dòng)切換：
0° 全關(guān)：隔斷腔體與管路，零泄漏保壓
0~45° 可調(diào)慢開段：前端旋鈕無級(jí)微調(diào)慢開角度，小通流緩慢抽真空 / 緩慢破真空，緩沖氣流沖擊，保護(hù)晶圓、鍍膜層、鋰電電解液
90° 全開：大通導(dǎo)快速抽氣 / 快速破空，縮短工藝節(jié)拍
優(yōu)勢：單閥替代「切斷閥 + 旁路微調(diào)針閥」雙閥方案，減少管路接頭、降低泄漏點(diǎn)、節(jié)省設(shè)備安裝空間。
四、核心結(jié)構(gòu)與產(chǎn)品特點(diǎn)
雙氣缸齒輪齒條驅(qū)動(dòng)，帶末端氣墊緩沖
氣缸體積小巧、啟閉推力充足；行程終點(diǎn)內(nèi)置氣緩沖，無撞擊噪音，延長密封壽命，循環(huán)壽命≥100 萬次。
超薄閥體、超高流導(dǎo)
同口徑閥體厚度遠(yuǎn)薄于閘閥，通流能力強(qiáng)，抽氣效率高；無流向限制，水平 / 垂直任意角度安裝。
潔凈低發(fā)塵真空級(jí)構(gòu)造
閥體、蝶板、閥桿 SUS304 鏡面電解拋光，低放氣；無塵室組裝出廠，適配 Class100/1000 潔凈產(chǎn)線。
三檔位獨(dú)立電氣反饋
標(biāo)配三組微動(dòng)開關(guān)，分別輸出「全關(guān)到位、慢開到位、全開到位」NPN/PNP 信號(hào)，直連設(shè)備 PLC 精準(zhǔn)時(shí)序控制。
寬工況密封選配
標(biāo)準(zhǔn) FKM 氟橡膠；強(qiáng)腐蝕鹵素等離子、高溫工藝可升級(jí) Kalrez 全氟醚密封圈。
五、通用技術(shù)參數(shù)
1. 真空壓力范圍
常壓 1×10? Pa ~ 高真空 1×10?? Pa；CF 法蘭款可達(dá) 1×10?? Pa 超高真空
2. 氦檢泄漏標(biāo)準(zhǔn)
閥體內(nèi)漏：≤1×10?? Pa?m3/s
閥桿軸封外漏：≤1×10?1? Pa?m3/s
3. 材質(zhì)與耐溫
介質(zhì)接觸件：SUS304 不銹鋼鏡面拋光
標(biāo)準(zhǔn)密封：FKM（-25~120℃）；可選 Kalrez（-30~150℃）
閥體烘烤上限：150℃（氣缸驅(qū)動(dòng)頭環(huán)境≤40℃，不可烘烤氣缸）
4. 氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)條件
氣源：潔凈無油干燥壓縮空氣，壓力 0.4~0.6MPa
驅(qū)動(dòng)：標(biāo)準(zhǔn)雙作用雙氣缸；可選單作用彈簧復(fù)位（失氣自動(dòng)全關(guān)，安全腔體）
5. 全口徑覆蓋
KF(N)：DN25/40/50/63/80/100/160/200/250
JIS(J)：DN25~DN350
ISO(I)：DN25~DN400
CF (C)：DN25~DN150（CF 無超大口徑）
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