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玉崎科學儀器（深圳）有限公司
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產品簡介
| 價格區間 | 面議 | 應用領域 | 綜合 |
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BH 是美幸輝雙氣缸兩段式三工位氣動蝶閥，核心解決精密腔體氣流沖擊、膜層損傷、物料飛濺問題；單閥集成慢抽 / 慢破空 + 快速大通流，無需額外旁路針閥，簡化真空管路，是半導體、光學鍍膜、鋰電真空工藝標配閥款。
產品介紹
MIYUKI美幸輝 真空蝶閥BH-C（CF）
MIYUKI美幸輝 真空蝶閥BH-C（CF）
一、產品定位
BH 是美幸輝雙氣缸兩段式三工位氣動蝶閥，核心解決精密腔體氣流沖擊、膜層損傷、物料飛濺問題；單閥集成慢抽 / 慢破空 + 快速大通流，無需額外旁路針閥，簡化真空管路，是半導體、光學鍍膜、鋰電真空工藝標配閥款。同品牌功能區分：
B 系列：單氣缸、僅全開 / 全關，純隔斷通斷
BH 系列：雙氣缸、三檔位（全關→0~45° 慢開度→90° 全開），快慢分段充排氣
BAR/BAZ：電動連續調節，用于穩態壓力 PID 調壓
二、型號完整命名規則
命名格式：BH - 法蘭代碼 + 通徑
BH：兩段雙氣缸快慢動作氣動蝶閥
法蘭代碼
N：KF/NW 快裝法蘭（小型腔體、實驗室）
J：JIS 日標法蘭（日系半導體 / 鍍膜設備主力）
I：ISO-F 大法蘭（大流量蒸鍍、鋰電爐主管）
C：CF 刀口金屬法蘭（超高真空、可烘烤無油腔體）
數字：公稱通徑 DN
示例：
BH-N63：KF63 兩段緩抽閥
BH-J100：JIS100 日標兩段蝶閥
BH-I250：ISO250 大口徑快慢抽氣閥
BH-C80：CF80 超高真空可烘烤款
三、三段動作原理（核心優勢）
雙氣缸兩段驅動，三個固定工位，可 PLC 時序控制自動切換：
0° 全關：隔斷腔體與管路，零泄漏保壓
0~45° 可調慢開段：前端旋鈕無級微調慢開角度，小通流緩慢抽真空 / 緩慢破真空，緩沖氣流沖擊，保護晶圓、鍍膜層、鋰電電解液
90° 全開：大通導快速抽氣 / 快速破空，縮短工藝節拍
優勢：單閥替代「切斷閥 + 旁路微調針閥」雙閥方案，減少管路接頭、降低泄漏點、節省設備安裝空間。
四、核心結構與產品特點
雙氣缸齒輪齒條驅動，帶末端氣墊緩沖
氣缸體積小巧、啟閉推力充足；行程終點內置氣緩沖，無撞擊噪音，延長密封壽命，循環壽命≥100 萬次。
超薄閥體、超高流導
同口徑閥體厚度遠薄于閘閥，通流能力強，抽氣效率高；無流向限制，水平 / 垂直任意角度安裝。
潔凈低發塵真空級構造
閥體、蝶板、閥桿 SUS304 鏡面電解拋光，低放氣；無塵室組裝出廠，適配 Class100/1000 潔凈產線。
三檔位獨立電氣反饋
標配三組微動開關，分別輸出「全關到位、慢開到位、全開到位」NPN/PNP 信號，直連設備 PLC 精準時序控制。
寬工況密封選配
標準 FKM 氟橡膠；強腐蝕鹵素等離子、高溫工藝可升級 Kalrez 全氟醚密封圈。
五、通用技術參數
1. 真空壓力范圍
常壓 1×10? Pa ~ 高真空 1×10?? Pa；CF 法蘭款可達 1×10?? Pa 超高真空
2. 氦檢泄漏標準
閥體內漏：≤1×10?? Pa?m3/s
閥桿軸封外漏：≤1×10?1? Pa?m3/s
3. 材質與耐溫
介質接觸件：SUS304 不銹鋼鏡面拋光
標準密封：FKM（-25~120℃）；可選 Kalrez（-30~150℃）
閥體烘烤上限：150℃（氣缸驅動頭環境≤40℃，不可烘烤氣缸）
4. 氣動驅動條件
氣源：潔凈無油干燥壓縮空氣，壓力 0.4~0.6MPa
驅動：標準雙作用雙氣缸；可選單作用彈簧復位（失氣自動全關，安全腔體）
5. 全口徑覆蓋
KF(N)：DN25/40/50/63/80/100/160/200/250
JIS(J)：DN25~DN350
ISO(I)：DN25~DN400
CF (C)：DN25~DN150（CF 無超大口徑）
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