聯(lián)系電話
玉崎科學(xué)儀器(深圳)有限公司
| 參考價(jià) | ¥1666-¥99999 | /件 |
- G-C100 型號(hào)
- MIYUKI/美幸輝 品牌
- 代理商 廠商性質(zhì)
- 深圳市 所在地
訪問次數(shù):8更新時(shí)間:2026-06-23 16:11:47
- 聯(lián)系人:
- 譚維濤
- 電話:
- 手機(jī):
- 18825222238
- 地址:
- 深圳市龍華區(qū)龍華街道松和社區(qū)匯食街一巷7號(hào)3層
- 個(gè)性化:
- www.ebarapump.net
掃一掃訪問手機(jī)商鋪
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
G 系列是純氣源驅(qū)動(dòng)伺服調(diào)節(jié)型真空蝶閥,區(qū)別 B/BH 純通斷兩段氣動(dòng)閥、BAR/BAZ 電機(jī)直驅(qū)電動(dòng)調(diào)節(jié)閥;依靠精密氣動(dòng)伺服氣缸 + 內(nèi)置閥位反饋
MIYUKI美幸輝 真空蝶閥 G-C
MIYUKI美幸輝 真空蝶閥 G-C
一、產(chǎn)品定位
B 系列:?jiǎn)螝飧變晌粴鈩?dòng),僅全開 / 全關(guān)(隔斷通斷)
BH 系列:雙氣缸兩段氣動(dòng),全關(guān) + 慢開 + 全開(快慢緩抽)
G 系列:氣動(dòng)伺服無級(jí)調(diào)節(jié),0~90° 任意開度鎖定
BAR/BAZ/GAR:DC24V 電機(jī)直驅(qū)電動(dòng)伺服調(diào)壓
二、完整型號(hào)命名規(guī)則
G:氣動(dòng)伺服連續(xù)調(diào)節(jié)蝶閥
法蘭代碼
N:KF/NW 快裝法蘭(DN25~250 小型腔體)
J:JIS 日標(biāo)法蘭(半導(dǎo)體、鍍膜主力,DN25~500)
I:ISO-F 大法蘭(鋰電、大型蒸鍍,DN25~500)
C:CF 刀口金屬法蘭(超高真空可烘烤,DN25~150)
數(shù)字:公稱通徑 A(DN)
示例:
G-J100:JIS100 氣動(dòng)伺服調(diào)節(jié)蝶閥
G-I300:ISO300 大口徑氣源調(diào)壓閥
G-N63:KF63 小型腔體氣動(dòng)伺服閥
G-C80:CF80 超高真空可烘烤氣動(dòng)調(diào)節(jié)閥
三、核心工作原理(氣動(dòng)伺服閉環(huán))
外部接入氣動(dòng)伺服比例閥(配套原廠氣控單元),輸入 0~10V 模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換為氣壓指令;
閥頭內(nèi)置高精度角位移傳感器實(shí)時(shí)采集蝶板實(shí)際開度;
氣缸內(nèi)置差動(dòng)氣室,根據(jù)反饋氣壓自動(dòng)修正輸出推力,全程閉環(huán),任意 0~90° 開度穩(wěn)定鎖止無漂移;
行程末端自帶氣墊緩沖,微小開度氣流線性平穩(wěn),無沖擊波動(dòng)。
四、核心產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
氣源驅(qū)動(dòng),無電機(jī)發(fā)熱,適配高溫腔體周邊
無電氣馬達(dá),無溫升干擾;氣缸耐環(huán)境溫度優(yōu)于電動(dòng)款,適合爐體、烘烤設(shè)備旁安裝。
全行程無級(jí)連續(xù)調(diào)節(jié),微小開度高精度節(jié)流
0.1° 級(jí)開度分辨,小流量載氣、微量抽氣穩(wěn)壓穩(wěn)定,解決大口徑閥門微調(diào)壓波動(dòng)問題。
超薄閥體、超大流導(dǎo)
同口徑面間距短,流阻極低,大腔體抽氣節(jié)拍更快;無介質(zhì)流向限制,水平 / 垂直任意安裝。
潔凈低放塵真空構(gòu)造
閥體、蝶板、閥桿 SUS304 鏡面電解拋光,無塵室裝配;無內(nèi)部金屬摩擦滑動(dòng)件,顆粒析出極低,滿足 Class100 潔凈室。
反壓密封強(qiáng)化結(jié)構(gòu)
蝶板采用多點(diǎn)球面壓緊機(jī)構(gòu),正 / 反向真空壓差下密封均勻,保壓性能優(yōu)于普通氣動(dòng)蝶閥。
斷電斷氣可選安全配置
可選彈簧復(fù)位氣缸:斷氣自動(dòng)全關(guān)腔體,適配危險(xiǎn)工藝、貴重晶圓腔體安全聯(lián)鎖。
五、標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)參數(shù)
1. 真空壓力區(qū)間
2. 氦檢泄漏指標(biāo)
閥座內(nèi)漏:≤1×10?1? Pa?m3/s
閥桿軸封外漏:≤1×10?11 Pa?m3/s(優(yōu)于 B/BH 系列)
3. 材質(zhì)與耐溫
過流部件:SUS304 不銹鋼鏡面拋光
標(biāo)準(zhǔn)密封:FKM 氟橡膠(-25℃~120℃);可選 Kalrez 全氟醚(耐鹵素、強(qiáng)酸、150℃烘烤)
閥體烘烤上限:150℃;氣動(dòng)執(zhí)行器環(huán)境溫度≤50℃
4. 氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)條件
工作氣源:潔凈無油干燥壓縮空氣 0.4~0.6MPaG
控制信號(hào):配套氣控單元接收 0~10V 模擬電壓開度指令
全行程動(dòng)作時(shí)間:0.8~1.5s,可調(diào)阻尼減速
5. 完整口徑覆蓋
KF(N):DN25/40/50/63/80/100/160/200/250
JIS (J)/ISO (I):DN25~DN500(行業(yè)最大口徑真空伺服蝶閥)
CF(C):DN25/40/50/63/80/100/150
六、可選配套與選配功能
氣控伺服單元(必配)
原廠比例伺服氣控盒:0~10V 模擬輸入,閥位 0~10V 反饋,支持 PLC 閉環(huán) PID 穩(wěn)壓;帶 RS485 通訊款可接入上位機(jī)。
閥位電氣反饋
4~20mA/0~10V 連續(xù)開度模擬信號(hào)輸出,實(shí)時(shí)上傳腔體控制系統(tǒng)。
安全氣缸
單作用彈簧復(fù)位型:失氣自動(dòng)全關(guān),防止腔體泄壓損壞工件。
密封升級(jí)
Kalrez 全氟醚密封圈,適配等離子、氟化物、強(qiáng)腐蝕特種工藝氣體。
成套氣源附件
氣源調(diào)壓過濾器、兩位五通電磁閥、消音器、快插氣管。




