這是OKK專為SPD系列研發的原創技術，全稱為Full Automatic Balancing（全自動平衡技術），核心作用是無需放置假片（dummy wafer），即可自動平衡1–25片晶圓的重量差異，避免因工件重量不均導致的高速旋轉振動、工件損傷等問題，同時大幅提升干燥效率與良品率。該技術通過內置傳感器實時檢測旋轉過程中的重心偏移，自動調整平衡機構，確保設備在高速旋轉（最高轉速可適配工藝需求）時仍能保持穩定，適配不同厚度、材質的精密工件，是SPD系列區別于普通離心干燥設備的核心技術壁壘。

（二）潔凈室級適配設計

SPD系列全程按照潔凈室使用標準設計，核心亮點包括：一是內置ULPA過濾器，可持續引入潔凈空氣，有效過濾空氣中的微小顆粒，防止干燥過程中顆粒污染工件表面；二是腔體采用SUS304（部分型號為SUS316L）電解研磨工藝，表面光滑無毛刺，低發塵、耐腐蝕，避免腔體自身產生污染物；三是配備離子中和裝置，消除工件表面靜電，減少灰塵吸附，確保干燥后工件的潔凈度符合半導體FAB環境要求（潔凈度可達100級），適配半導體前道、后道及光罩制造等高精度場景。

（三）低振動/低噪音結構設計

OKK大宮工業（Spin Dryer）基于精密振動分析技術，SPD系列采用高剛性機身與精準動平衡設計，大幅降低高速旋轉過程中的振動與噪音：機身采用厚重鑄鐵底座，增強穩定性，減少振動傳導；旋轉主軸經過精密加工與校準，配合優質軸承，確保高速旋轉時的平穩性；多卡匣型號額外優化了腔體結構，避免多工件同時作業時的重心偏移，振動量控制在行業極低水平，既保護了脆弱的精密工件（如晶圓、光學玻璃），也避免了振動對周邊設備的影響，適配高精密產線的協同作業需求。

（四）高效干燥工藝設計

SPD系列采用“離心力+潔凈氣流"的雙重干燥模式，核心原理是通過高速旋轉產生的離心力，快速甩除工件表面的藥液、水漬，同時通過ULPA過濾后的潔凈氣流（可根據需求切換為N?惰性氣體）吹掃工件表面，實現快速、均勻干燥，無水印、無殘留，干燥效率較傳統干燥設備提升30%以上，且可避免高溫干燥對工件的損傷，適配熱敏性、易氧化精密零件的干燥需求，同時支持多段轉速（10～600 min?1）與工藝配方調節，靈活適配不同工件的干燥需求

OKK大宮工業（Spin Dryer）SPD 系列完整型號（含規格）

1. 標準小型 / 手動系列

SPD-100：2–6 英寸晶圓 / 小零件，手動單批

SPD-200：6–8 英寸，手動 / 半自動

SPD-300：8 英寸，標準潔凈型

SPD160RN：φ50–150mm（2–6 英寸）×1 卡塞

SPD180RN / SPD180：φ50–200mm（2–8 英寸）×1 卡塞

2. 中大型 H 系列（8/12 英寸主流）

H840：手動，8 英寸

H840A：半自動（搖籃定位 + 旋轉）

H840SA：半自動加強型

H1120RN：12 英寸（300mm），大容量

3. 大產能 / 多卡匣系列

SPD400 / 500 / 600 / 800 / 1200：多卡匣（2–4 卡），300mm 以下

4. 同線相關（真空 / 清洗干燥一體）

OKV-600 / 600S：真空甩干

OKV-800 / 800SA：大型真空重載

OKH-800SA：超大尺寸 / 批量

OKH-MR：清洗 + 干燥一體

OKK大宮工業（Spin Dryer）SPD系列核心技術解析（差異化競爭優勢）