KOKUSAN 科庫森（國産遠心機）產品核心優勢解析

時間：2026/6/25閱讀：185

自創立以來，KOKUSAN科庫森始終以 “離心分離精度、適配精密制造需求"為研發內核，依托百年技術迭代，持續優化潔凈離心、高速分離、精密干燥解決方案，兼顧實驗室微量分析需求與半導體、工業大批量量產制程，成為全球精密離心設備領域兼具歷史底蘊與技術壁壘的日系品牌。

KOKUSAN科庫森在半導體晶圓離心干燥、晶圓甩干中的優勢

KOKUSAN科庫森 SPD-180 自轉式、H840SA 對向式晶圓離心干燥機，是日系半導體濕法制程主流標配設備，相比普通烘干、常規離心設備具備不可替代的超凈工藝優勢：

1、超高潔凈等級，嚴控微粒與靜電污染

整機適配 Class100 百級無塵車間使用，風路內置 ULPA 超高效過濾器，進入腔體的吹掃空氣凈化，避免粉塵附著晶圓表面；標配除靜電裝置，消除高速旋轉產生靜電，防止靜電吸附顆粒、擊穿精密芯片線路。

設備主軸、軸承采用隔離式密封結構，潤滑油脂、機械磨損碎屑無法進入干燥腔，從根源杜絕二次污染，滿足半導體芯片、硅片、光學玻璃高精度制程潔凈管控要求。

2、低溫離心風干，杜絕工件損傷、無水痕瑕疵

采用離心甩脫 + 潔凈風吹掃脫水原理，無需高溫烘烤，規避高溫導致晶圓翹曲變形、光刻膠變質、精密鍍層損壞問題；高速離心快速剝離表面水分，搭配均勻層流風風干，晶圓表面不留水印、水斑、水漬印記，適配光刻、蝕刻、研磨、清洗后關鍵工序。

對向式機型雙工位交替作業，自帶花籃自動升降機構，可輕松對接前后自動化清洗產線，實現連續批量生產，產能效率優勢突出。

3、運行穩定性適配長時間量產，良率可控

依托品牌百年離心動平衡技術，高速旋轉震動極小，高速甩干過程不會造成晶圓磕碰、崩邊、裂片；自帶失衡檢測、超速、門蓋聯鎖多重安全保護，批量生產運行一致性強，產品良率穩定。

整機耐腐蝕不銹鋼腔體，耐清洗藥液殘留腐蝕，適配酸堿清洗后脫水工況，長期連續量產故障率低，運維省心。

4、細分場景適配性強

除 8/12 寸硅片之外，也可適配碳化硅、光學鏡片、精密陶瓷、微電子小型元器件、載具治具等精密小件脫水，在半導體、光電、精密電子清洗干燥細分賽道形成技術壁壘，是精密脫水工序優選機型。

多重安全防護，合規性強

機械門蓋互鎖、失衡極速停機、過載 / 過熱 / 超速多重硬件保護，樣品偏心、腔體異常即刻停機，規避爆管、腔體破損事故。

醫用機型符合臨床檢驗規范，血細胞離心機（HS-12、H-1200F）雙速程序匹配輸血配血、紅細胞洗滌標準流程；冷凍機型環保冷媒選型，適配生物醫藥實驗室合規要求。

防腐腔體選型豐富：304/316L 不銹鋼內腔，耐酸堿腐蝕，適配化工廢液、高鹽、腐蝕性樣品長期分離作業。

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