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自轉VS對向怎么選？ SPD-180&H840SA晶圓遠心干燥機全維度技術選型

時間：2026/6/25閱讀：174

自轉VS對向怎么選？日本KOKUSAN科庫森 SPD-180&H840SA晶圓遠心干燥機全維度技術選型

在半導體晶圓濕法清洗后端工序中，遠心（離心）干燥機是去除表面純水、清洗藥液，杜絕水印、靜電粉塵吸附的核心設備。市面上主流分為自轉式與對向式兩大結構，很多產線工程師選型時容易困惑：高轉速脫水和低震動量產該如何取舍？

作為日本老牌離心設備品牌，KOKUSAN科庫森旗下SPD-180自轉式、H840SA對向式是目前半導體行業應用的兩款原裝遠心干燥機。本文從工作原理、核心性能、適用產線、現場工況拆解，幫助產線快速精準選型，避免設備錯配、良率下降、產能不足等問題。

名詞科普：遠心干燥機=離心干燥機

日系圖紙、設備銘牌標注的遠心乾燥機，中文統一為離心干燥機，俗稱晶圓甩干機。

區別于加熱型螺旋干燥機，兩款設備均采用純物理離心脫水，無高溫烘烤、無熱風二次污染，不損傷晶圓光刻膠、外延鍍膜與精密基板，適配半導體無塵車間Class100潔凈標準。

核心工作原理差異（本質區別）

SPD-180 自轉式離心干燥機，這是一款作為半導體產業用晶圓干燥裝置擁有許多實績的設備。
通過離心力和ULPA過濾器的氣流，將工作部件保持在清潔的水切割干燥狀態。

采用單花籃一體式同向自轉結構，整個料架跟隨主軸高速同向旋轉，離心力高度集中，剝離能力更強。搭配觸控可編程系統，可自定義加減速、運行時長，柔性適配不同材質晶片脫水需求，適合精細化干燥場景。

H840SA 對向式離心干燥機，

這是一款作為半導體產業用晶圓干燥裝置擁有許多實績的設備。

通過離心力和氣流將工件清潔并進行水切干燥。通過提升機構，自動提升提升架。

采用雙花籃左右反向對轉結構，兩側轉子產生的離心力相互抵消，從源頭抑制設備震動。設備運行平穩、無需加固地腳，搭配自動升降搖籃，適配產線自動化對接，主打7×24小時不間斷穩定量產。

兩大機型詳細核心優勢

1. SPD-180 自轉式遠心干燥機｜高精脫水專用

強效脫水：超高轉速可清除晶片微孔、邊緣殘留水漬，真正實現零水斑干燥

工藝靈活：多段變速運行，可匹配硅片、碳化硅、氮化鎵等第三代半導體材料

維護便捷：轉子快拆設計，腔體，方便日常清潔保養

全域除靜電：標配ULPA高效過濾器+離子風裝置，避免靜電吸塵，保障晶片潔凈度

2. H840SA 對向式遠心干燥機｜穩定量產專用

超低震動運行：雙向對轉抵消震感，長時間運行主軸無偏移，大幅降低晶圓碎片率

自動化適配強：氣動自動升降搖籃，可直接對接前后端清洗設備，銜接全自動產線

操作零門檻：簡易按鍵操作，無需復雜編程，一線員工可快速上手

24h連續運行：日系變頻驅動電機，耐用性強，適合工廠全天候不間斷量產

總結：SPD-180自轉式：需要8寸晶圓干燥、追求無水痕、研發小批量生產、工藝需要多程序調試
H840SA對向式：6寸及以下晶圓量產、24小時連續開機、要求設備超低震動、想要更高生產產能

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