日本IWAKI易威奇半導體氣動泵與風囊泵廣泛應用于對流體控制精度、耐腐蝕性及潔凈度要求的工業領域，尤其在半導體制造中表現突出。其核心產品采用全氟塑料材質與氣動驅動技術，實現無金屬污染、低脈動輸送，適用于高純化學品供給、清洗工藝與CMP制程等關鍵環節。

IWAKI易威奇CFD全氟、高精度半導體氣動泵

IWAKI易威奇CFD全氟、高精度半導體氣動泵

一、主要適用行業

1. 易威奇CFD全氟、高精度半導體氣動風囊泵?半導體制造?

• 用于化學液體供藥、單片清洗、光刻膠輸送及CMP（化學機械拋光）工藝。

• FS-N系列和PDS-H115系列可耐受、硫酸等強腐蝕性化學品，確保晶圓表面潔凈度達ISO Class 1標準。

• FLP系列低脈動設計，適用于對流量穩定性要求的單晶圓處理過程。

2. ?醫療與化學分析?

• 氣動隔膜泵用于高純試劑輸送，避免交叉污染。

• KB系列風囊泵適用于自動分析儀器中的微量藥液添加。

3. ?新能源產業?

• 支持燃料電池、二次電池（如鋰電池）和太陽能電池生產中的化學品循環與供給系統。

4. ?PCB（印刷電路板）與電鍍行業?

• 用于酸堿液輸送、表面處理液循環，MDM系列PFA型號可將污染物析出降至。

5. ?食品加工與制藥?

• KB/KBA/KBR系列結構緊湊、無泄漏，符合衛生標準，適用于食品機械與藥品配液系統。

6. ?環保與水處理?

• TC-X系列氣動隔膜泵用于工業污水、市政污水處理，具備耐酸堿、耐腐蝕特性。

二、核心產品系列介紹

1. ?半導體氣動風囊泵（FS系列）?

• ?代表型號?：FS-80NT、FS-100NF、

• FS-15HT、FS-30HT、FS-60HT、FS-100H

• ?特點?：

• 吐出量達100L/min，適用于大流量高壓力場景。

  過流部件全采用PTFE/PFA氟樹脂材料，杜絕金屬離子污染。

  內置接近傳感器與漏液檢測功能，支持自動化控制。

  工作溫度范圍5~60°C，氣源壓力0.7MPa。

2. ?低脈動氣動風囊泵（FLP系列）?

• ?代表型號?：FLP-60W、FLP-75W

• ?優勢?：

• 脈動范圍低至0.06MPa，無需外接阻尼器，節省空間與成本。

  可輸送高粘度光刻膠，適用于LED、MEMS等精密工藝。

  耐溫達180°C，適應高溫工況下的穩定運行。

3. ?經濟型風囊泵（KB系列）?

• ?代表型號?：KB-3X、KBR-3X、KBA-3Z

• ?應用場景?：

• 小流量、低壓力場合，如照片沖洗、自動分析儀、食品加工設備中的定量加藥。

  結構簡單、維護方便，適合OEM設備配套使用。

4. ?氣動隔膜泵（TC-X系列）?

• ?特點?：

• 流量范圍廣（8~950L/min），適用于低粘度至高粘度液體輸送。

  IP66防護等級，防爆設計，適用于易燃易爆環境。

  全塑料泵體，耐酸堿腐蝕，適合工業污水處理。

5. ?高精度半導體專用泵（PDS-H115系列）?

• ?性能參數?：

• 吐出精度達12mL/shot，支持高粘度液體（10,000mPa·s）。

  高壓輸出（1.0MPa），保障供藥系統穩定性。

  廣泛用于光刻膠、顯影液等高價值化學品的精準輸送。

CFD系列

全氟材質、高精度、分辨率高達1.0mL

精細流量調節的化學液補充系統

工作原理

壓縮空氣驅動波紋管往復運動，兩端接近開關控制行程；氣液隔離，無軸封泄漏風險；通過調節氣壓 / 沖程頻率實現精密流量控制。

日本IWAKI易威奇半導體氣動泵典型應用場景

晶圓清洗（批量 / 單片）、SPM/H?PO?蝕刻液輸送、CMP 研磨液循環 / 補給；

高純度化學品供液系統、混液循環、廢液處理；

禁止金屬污染、高溫強腐蝕的半導體濕法工藝段。