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當(dāng)前位置：鈴田（上海）科技有限公司>>半導(dǎo)體晶圓甩干機(jī)>>KOKUSAN科庫森>> H840SAKokusan科庫森遠(yuǎn)心脫水機(jī)對向式離心干燥機(jī)
產(chǎn)品型號H840SA
品 牌Kokusan/科庫森
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地上海市
更新時間：2026-06-23 11:26:53瀏覽次數(shù)：23次
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KOKUSAN科庫森H840SA/SPD-180晶圓甩干機(jī)
日本KOKUSAN科庫森 H840SA對向式離心干燥機(jī)
| 價格區(qū)間 | 30萬-50萬 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電氣,綜合 |
|---|---|---|---|
| 品牌 | Kokusan科庫森 | 品名 | 對向式離心干燥機(jī) |
| 型號 | H840SA | 電源 | AC200V 3φ 50/60Hz 15A |
| 寸法 | 800(寬)×990(深)×1004(高)毫米 蓋開時的高度1528(高)毫米 | 重量 | 180公斤 |
日本KOKUSAN科庫森（國産遠(yuǎn)心機(jī)）鈴田上海代理原廠半導(dǎo)體晶圓專用對向式甩干離心干燥設(shè)備，行業(yè)成熟量產(chǎn)機(jī)型，依靠離心力 + 潔凈氣流協(xié)同完成晶圓表面精密脫水干燥，適配半導(dǎo)體光刻、清洗后工序潔凈制程株式會社コクサン。KOKUSAN 科庫森 H840SA 對向式離心干燥機(jī)，
Kokusan科庫森遠(yuǎn)心脫水機(jī)對向式離心干燥機(jī)、Kokusan科庫森遠(yuǎn)心脫水機(jī)對向式離心干燥機(jī)
KOKUSAN 科庫森 H840SA 對向式離心干燥機(jī)這是一款作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)用晶圓干燥裝置擁有許多實(shí)績的設(shè)備。
通過離心力和氣流將工件清潔并進(jìn)行水切干燥。
通過提升機(jī)構(gòu)，自動提升提升架。
| 電源 | AC200V 3φ 50/60Hz 15A |
|---|---|
| 驅(qū)動空氣 | 0.5兆帕 (5千克/平方厘米2) |
| 最大處理量 | 6英寸載體×2架 5英寸以下載體×2架又或者4架 |
| 許容積載重量 | 2,000克以內(nèi)（各等級架的承載重量） |
| ULPA過濾器 | 有 |
| 離子發(fā)生器 | 有 |
| 控制 | PLC?逆變器 |
| 操作部 | 按扣開關(guān) |
| 轉(zhuǎn)數(shù) | 1,000轉(zhuǎn)/分鐘 (常用回轉(zhuǎn)數(shù) 800轉(zhuǎn)/分鐘) |
| 發(fā)動機(jī) | 逆變器電機(jī) |
| 寸法 | 800(寬)×990(深)×1004(高)毫米 蓋開時的高度1528(高)毫米 |
| 重量 | 180公斤 |
※我們還有8英寸及以下的設(shè)備、手動機(jī)、自動機(jī)等產(chǎn)品。
在半導(dǎo)體以外的應(yīng)用中，也請隨時與我們咨詢。
鈴田科技（上海）有限公司為中國區(qū)域授權(quán)代理商
設(shè)備高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生離心力，剝離晶圓表面附著水分；搭配 ULPA 超潔凈過濾送風(fēng)形成定向氣流，快速帶走水汽，杜絕水漬、水印殘留；搭載搖籃自動抬升機(jī)構(gòu)，工序完成后自動抬升載具，便于上下料作業(yè)。
半自動化結(jié)構(gòu)：相比基礎(chǔ)款 H840 配備自動搖籃升降機(jī)構(gòu)，減少人工操作，適配產(chǎn)線連續(xù)作業(yè)
高潔凈配置：標(biāo)配 ULPA 高效過濾器 + 離子發(fā)生器，消除靜電，避免微塵吸附、晶圓靜電損傷
變頻精準(zhǔn)調(diào)速：變頻電機(jī) + PLC 程序控制，轉(zhuǎn)速運(yùn)行穩(wěn)定，適配不同規(guī)格晶圓干燥工藝
雙載具同步處理：雙側(cè)對向擺放托架，單次批量加工，生產(chǎn)效率更高
整機(jī)密封性優(yōu)：封閉式腔體設(shè)計(jì)，潔凈環(huán)境可控，滿足無塵車間使用要求
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