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價格區(qū)間	30萬-50萬	應用領(lǐng)域	能源,電氣,綜合
品牌	Kokusan科庫森	品名	對向式離心干燥機
型號	H840SA	電源	AC200V 3φ 50/60Hz 15A
寸法	800(寬)×990(深)×1004(高)毫米蓋開時的高度1528(高)毫米	重量	110公斤

鈴田科技代理日本Kokusan科庫森晶圓甩干機

日本KOKUSAN科庫森（國産遠心機）鈴田上海代理原廠半導體晶圓專用對向式甩干離心干燥設(shè)備，行業(yè)成熟量產(chǎn)機型，依靠離心力 + 潔凈氣流協(xié)同完成晶圓表面精密脫水干燥，適配半導體光刻、清洗后工序潔凈制程株式會社コクサン。SPD-180、H840SA、對向式離心干燥機、自轉(zhuǎn)式干燥機、晶圓清洗干燥設(shè)備

遠心干燥機 = 離心干燥機（日語直譯）

「遠心乾燥機（えんしんかんそうき）」= 中文離心干燥機、晶圓甩干機、Spin Dryer，
KOKUSAN 科庫森兩款機型：

H840SA 對向式遠心（離心）干燥機
SPD-180 自轉(zhuǎn)式遠心（離心）干燥機
原理：高速旋轉(zhuǎn)靠離心力剝離工件表面水分，搭配 ULPA 潔凈風除靜電，半導體晶圓濕法清洗后無水痕脫水專用。

KOKUSAN 科庫森 H840SA 對向式離心干燥機，

KOKUSAN 科庫森 SPD-180 自轉(zhuǎn)式離心干燥機（Spin Dryer）

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內(nèi)置螺旋絞龍 / 螺旋葉片，依靠螺旋推送物料前進，配合夾套導熱油 / 蒸汽加熱烘干，屬于傳導式加熱干燥，不靠離心力脫水。

常見類型：真空螺旋干燥機、臥螺沉降離心機（螺旋離心分離機）、連續(xù)螺旋輸送烘干機。

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項目	遠心（離心）干燥機（科庫森 SPD-180/H840SA）	螺旋干燥機
脫水原理	離心力高速甩水，幾乎無加熱	螺旋推送 + 熱傳導烘干
適用產(chǎn)品	半導體晶圓、光學玻璃、精密小件	粉體、污泥、顆粒、粘稠物料、化工料渣
潔凈等級	Class100 高潔凈、無塵車間使用	工業(yè)粗放烘干，無超高潔凈要求
運行方式	批次式、單 / 雙花籃晶圓處理	連續(xù)進料出料、大批量物料烘干
代表機型	KOKUSAN SPD-180、H840SA	臥式螺旋卸料沉降離心機、空心槳葉螺旋干燥機

※我們還有8英寸及以下的設(shè)備、手動機、自動機等產(chǎn)品。

在半導體以外的應用中，也請隨時與我們咨詢。

電話咨詢：CHINA區(qū)域一級代理商鈴田科技（上海）有限公司

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KOKUSAN 科庫森 SPD-180 自轉(zhuǎn)式離心干燥機半導體晶圓專用高速甩干機

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KOKUSAN SPD-180 晶圓離心干燥機單花籃高速自轉(zhuǎn)式脫水機濕法工藝甩干設(shè)備

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