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當前位置：鈴田（上海）科技有限公司>>半導體晶圓甩干機>>KOKUSAN科庫森>> SPD-180半導體晶圓自轉(zhuǎn)式離心干燥機Kokusan/科庫森
產(chǎn)品型號SPD-180
品 牌Kokusan/科庫森
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地北京市
更新時間：2026-06-23 11:53:51瀏覽次數(shù)：13次
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| 價格區(qū)間 | 30萬-50萬 | 應用領域 | 能源,電氣,綜合 |
|---|---|---|---|
| 品牌 | Kokusan科庫森 | 品名 | 對向式離心干燥機 |
| 型號 | SPD-180 | 電源 | AC200V 3φ 50/60Hz 15A |
| 寸法 | 800(寬)×990(深)×1004(高)毫米 蓋開時的高度1528(高)毫米 | 重量 | 110公斤 |
日本KOKUSAN科庫森（國産遠心機）鈴田上海代理原廠半導體晶圓專用對向式甩干離心干燥設備，行業(yè)成熟量產(chǎn)機型，依靠離心力 + 潔凈氣流協(xié)同完成晶圓表面精密脫水干燥，適配半導體光刻、清洗后工序潔凈制程株式會社コクサン。KOKUSAN 科庫森 H840SA 對向式離心干燥機，
半導體晶圓自轉(zhuǎn)式離心干燥機Kokusan/科庫森、半導體晶圓自轉(zhuǎn)式離心干燥機Kokusan/科庫森
KOKUSAN 科庫森 SPD-180 自轉(zhuǎn)式離心干燥機（Spin Dryer）
這是一款作為半導體產(chǎn)業(yè)用晶圓干燥裝置擁有許多實際經(jīng)驗的設備。
通過離心力和氣流將工件在清潔的水中切割并干燥。
通過提升機構，自動提升提升架。
| 電源 | AC200V 3φ 50/60Hz 8A |
|---|---|
| 驅(qū)動空氣 | 0.3兆帕 (3千克/平方厘米2) |
| 最大處理量 | 8英寸×25枚載體 1載體 |
| ULPA過濾器 | 有 |
| 離子發(fā)生器 | 有 |
| 控制 | PLC?逆變器 |
| 操作部 | 觸摸屏 |
| 駕駛食譜注冊數(shù) | 5種類 |
| 轉(zhuǎn)數(shù) | 3,500轉(zhuǎn)/分鐘 (適用于5英寸及以下，6英寸及以上為3,000轉(zhuǎn)/分鐘) |
| 電機 | 逆變器電機 |
| 寸法 | 652(寬)×1135(深)×1080(高)毫米 蓋開時的高度1352(高)毫米 |
| 重量 | 110Kg |
※我們還有8英寸及以下的設備、手動機、自動機等產(chǎn)品。
在半導體以外的應用中，也請隨時與我們咨詢。
電話咨詢：CHINA區(qū)域一級代理商鈴田科技（上海）有限公司
載具整體高速自轉(zhuǎn)，依靠強離心力剝離晶圓表面純水、清洗溶劑；
頂部 ULPA 超潔凈風循環(huán)，配合離子風中和靜電；
密閉腔體排走水汽，杜絕水印、水漬、顆粒吸附，避免晶圓氧化。
單載具設計：僅放置 1 個晶圓花籃，適配中小批量、研發(fā)線、小產(chǎn)線使用
超高轉(zhuǎn)速配置：5 英寸及以下最高 3500rpm，6 英寸及以上 3000rpm，脫水效率遠高于 H840SA
標配潔凈系統(tǒng)：內(nèi)置 ULPA 過濾器 + 靜電消除離子發(fā)生器，Class100 潔凈級處理環(huán)境
觸控 PLC 程控：觸摸屏操作，可存儲5 組自定義工藝配方，轉(zhuǎn)速、時長、加減速分段可調(diào)
氣密腔體 + 安全聯(lián)鎖：上蓋開蓋停機保護，防晃動失衡報警，運行穩(wěn)定性強
轉(zhuǎn)子快拆結構：花籃托架拆裝便捷，日常維護、清潔腔體簡單
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