# 2026年NIKKATO研磨球案例發布#

日期：2026年3月18日

時間：8：30-18：30

海拓創新技術 (杭州) 有限公司（Seatools）是國內唯-一實現 12 英寸靜電卡盤（ESC）商業化批量交付的國產龍頭，專注半導體核心零部件國產化，是刻蝕、離子注入等關鍵設備的核心國產供應商。

一、工商與基本信息

全稱：海拓創新技術 (杭州) 有限公司（曾用名：廣東海拓創新技術有限公司）

統一社會信用代碼：91441900MA51LAN48B

成立時間：2018 年 4 月 26 日；經營狀態：存續

法定代表人 / 實控人：劉斌（持股 61.09%）

注冊資本：634.29 萬元；實繳：584.29 萬元

注冊 / 辦公地址：杭州市富陽區大源鎮陽平山路 255 號 A2 棟

行業：半導體器件專用設備制造；資質：國家高-新-技-術-企-業

二、核心定位與技術壁壘

賽道：靜電卡盤（ESC） 是半導體刻蝕、離子注入、薄膜沉積設備的核心功能部件，決定晶圓夾持精度與工藝穩定性。

核心壁壘：

國內唯-一掌握4–12 英寸靜電卡盤全系列設計、材料、制造、修復全流程技術。

突破陶瓷基片、電極、涂層、高壓驅動等關鍵技術，打破日美壟斷。

擁有12 英寸 FAB 量產交付實績，適配 14nm 及以上先-進制程。

行業地位：國內唯-一以靜電卡盤為核心營收的商業化企業，國產 ESC絕-對龍頭。

三、核心產品與應用

1. 靜電卡盤（ESC）系統（主力）

12 英寸 ESC：適配刻蝕、離子注入、CVD/ALD 等設備，已批量交付國內頭部晶圓廠。

8/6 英寸 ESC：化合物半導體（GaN/SiC）、功率器件、MEMS 領域規模化應用。

ESC 再生與修復：降低客戶備件成本，已形成穩定業務。

配套：高壓電源、溫控系統、真空系統等子系統。

2. 應用場景

半導體：邏輯 / 存儲芯片、化合物半導體、功率器件。

制程：等離子刻蝕、離子注入、薄膜沉積、鍵合、檢測等。

四、客戶與市場

核心客戶：北方華創、中微公司、屹唐半導體等國產設備商；中芯國際、長江存儲、長鑫存儲等晶圓廠。

終端：覆蓋國內主流 12 英寸 FAB，進入第三代半導體供應鏈。

市場：國產 ESC市-占-率-第-一，直接替代日本 Shinko、美國 Applied Materials 等。

五、經營與產能

產能：9 條生產線滿產，2026 年訂單同比增長，產值預計翻番。

戰略：從單一 ESC 向ESC + 子系統 + 工藝方案升級，拓展先-進制程與化合物半導體市場。