該平臺采用PZT壓電致動器驅動，提供5μm、10μm、25μm、50μm多行程版本選擇，分辨率低至0.005nm，重復定位精度優于0.1nm。主體采用高性能7075鋁合金材質，剛度達40.1N/μm，水平負載0.1kg，垂直負載0.01kg，在高速運動中仍能保持穩定，共振頻率可達12500Hz，避免振動導致的定位偏差。

型號	行程	剛度	共振頻率	適用場景
Z-STAGE.5	5μm	40.1N/μm	12500Hz	超高精度微觀檢測
Z-STAGE.10	10μm	7.5N/μm	5200Hz	光學設備微調
Z-STAGE.25	25μm	7.7N/μm	5500Hz	半導體芯片檢測
Z-STAGE.50	50μm	2.7N/μm	3500Hz	大范圍精密掃描

二、行業應用場景

在原子力顯微鏡（AFM）應用中，Z-STAGE.5型號憑借5μm行程與0.005nm分辨率，可精準控制探頭與樣品表面的亞納米級距離，獲取樣品表面微觀形貌；在半導體芯片檢測領域，Z-STAGE.50型號的50μm大行程可滿足晶圓表面不同區域的檢測需求，高剛性結構避免檢測過程中因負載變化導致的定位誤差；在超分辨顯微鏡中，該平臺可實現樣品垂直方向的精準對焦，配合XY軸平臺完成三維成像，為生物醫學研究提供清晰的微觀圖像。

北京漢達森機械技術有限公司，田永福。

三、產品核心優勢與用戶價值

PIEZOCONCEPT Z-STAGE 1軸納米定位平臺搭載硅高分辨率傳感器，線性度典型值達0.02%，閉環控制模式可有效消除蠕變與滯后效應。其結構設計緊湊，底部配備4個M3安裝孔，電纜長度超過1.5m，便于集成到各類檢測設備中。安裝過程中無需復雜校準，配合PIEZOCONCEPT專用控制器，可實現“電壓-位移"的精準轉換，操作便捷。

對于設備采購經理而言，該平臺多行程版本可滿足不同場景需求，高穩定性降低設備維護頻率，長使用壽命減少更換成本；維修工程師可通過標準DB-9接口快速排查故障，搭配廠家提供的技術支持，確保設備快速恢復運行，為企業生產與科研進度提供保障。

Voltage control.jpg

PIEZOCONCEPT Z-STAGE 1軸納米定位平臺行業解決方案

PIEZOCONCEPT Z-STAGE 1軸納米定位平臺高剛性Z軸精密位移設備工業檢測專用

一、核心技術參數優勢

二、行業應用場景

三、產品核心優勢與用戶價值

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PIEZOCONCEPT Z-STAGE 1軸納米定位平臺行業解決方案

PIEZOCONCEPT Z-STAGE 1軸納米定位平臺 高剛性Z軸精密位移設備 工業檢測專用

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