JIACO MIP、JIACO Instruments自研JIACO常壓等離子開蓋設備,依托微波誘導等離子技術,解決傳統強酸濕法、含氟真空等離子開蓋帶來的樣品損傷、環保危廢、人工效率低等行業痛點。
長期以來國內半導體失效分析實驗室主流采用兩種開蓋工藝:濕法化學酸蝕、真空CF4等離子刻蝕。濕法酸蝕存在強酸儲存安全隱患、廢液危廢處置成本高、銅線銀線腐蝕報廢三大硬傷;真空等離子依賴高真空機組,含氟氣體耗材昂貴、腔體維護頻繁,還會清除芯片表面原始污染缺陷,導致失效分析數據失真。JIACO常壓等離子開蓋設備以常壓無氟、全自動、無損三大核心優勢,成為新一代行業標準制樣裝備。
| 對比項目 | JIACO常壓等離子開蓋設備 | 真空含氟等離子 | 濕法酸蝕開蓋 |
|---|---|---|---|
| 危廢與耗材 | 僅氧氣、氫氣,無腐蝕危廢 | CF4特種含氟氣體,成本高 | 強酸廢液,合規處置成本高 |
| 線材保護能力 | 金/銅/銀/鋁線零腐蝕 | 銅銀線氧化受損 | 銅銀線嚴重腐蝕溶解 |
| 設備運維難度 | 常壓無真空泵,維保簡單 | 真空機組定期保養換油 | 人工清洗、防護耗材消耗大 |
| 加工效率 | 流程縮短70%,全自動無人值守 | 抽真空耗時,中途人工清渣 | 浸泡數小時,全程人工看管 |
| 失效分析可靠性 | 完整保留原始缺陷、表面雜質 | 微觀污染物被等離子清除 | 化學腐蝕破壞缺陷形貌 |
JIACO常壓等離子開蓋設備采用微波激發常壓等離子體系,氫氣基還原配方,僅通過氣體化學反應分解環氧封裝樹脂,無離子物理轟擊,不會損傷芯片鈍化層、焊盤、微凸點結構。該技術被JEDEC納入JESD22-B120標準,近百臺設備落地汽車、存儲、AI、先進封裝頭部企業,三十余篇行業論文驗證工藝穩定性。
JIACO常壓等離子開蓋設備包含兩大型號:基礎款JIACO MIP專注封裝開蓋、款JIACO MIP+增加晶粒逐層剝層功能,覆蓋從成熟制程IC到先進2.5D/3D封裝全場景制樣需求,是第三方檢測機構、車企芯片實驗室替換傳統開蓋設備的機型。
JIACO Instruments全系產品型號清單:JIACO MIP(封裝級等離子開蓋系統)、JIACO MIP+(晶粒級精密等離子刻蝕系統)。
北京漢達森機械技術有限公司,田永福。
替換原有濕法酸蝕設備后,實驗室無需儲存強腐蝕性化學試劑,省去危廢處理資質、廢液清運、人員防護裝備持續投入;對比真空等離子設備,無需采購高價含氟特種氣體,真空泵、密封件更換頻次大幅降低,長期綜合運營成本下降60%以上。
針對車規AEC Q006可靠性測試、航空輻射芯片檢測、射頻濾波器批量質檢場景,JIACO常壓等離子開蓋設備全自動連續加工,樣品制樣一致性高,珍貴黃金故障樣品可無損重復開蓋,避免研發樣品報廢帶來高額流片成本。
客戶可寄送自有封裝樣品免費做開蓋對比測試,直觀對比酸蝕、真空等離子與JIACO常壓等離子開蓋設備的樣品形貌差異;整機荷蘭進口,上門裝機、操作人員培訓,配套終身工藝配方免費升級服務。
JIACO無酸常壓等離子開蓋設備、替代濕法化學芯片開封機、無氟環保半導體制樣設備、無損銀銅線IC去封裝系統、JEDEC標準等離子decap設備
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