產(chǎn)地類別	進(jìn)口	價格區(qū)間	30萬-50萬
應(yīng)用領(lǐng)域	能源,電子/電池,航空航天,電氣,綜合	組成要素	半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品及設(shè)備
工作介質(zhì)	ArF	波長	193nm
重復(fù)頻率	200Hz	穩(wěn)定能量	2%
冷卻方式	風(fēng)冷AC	占空比	100%
機(jī)身材質(zhì)	不銹鋼，IP20

MLI-ArF-200-SP-AC激光器

MLI-ArF-200-SP-AC是德國MLase品牌推出的工業(yè)級激光器，主要用于半導(dǎo)體檢測、精密微加工與紫外激光清洗等場景。

MLI-ArF-200-SP-AC激光器采用193nm ArF工作介質(zhì)，依托MLase成熟的MLI系列平臺，在緊湊結(jié)構(gòu)內(nèi)實現(xiàn)高穩(wěn)定性輸出，滿足制造對光源一致性的嚴(yán)苛要求。該設(shè)備能量波動低于2%，可長期保持穩(wěn)定脈沖，有效提升制程良率與重復(fù)精度。

一、Mlase激光器核心技術(shù)參數(shù)

參數(shù)項	規(guī)格值
工作介質(zhì)	ArF
波長	193nm
最大重復(fù)頻率	200Hz
穩(wěn)定能量	6mJ
最大能量	9mJ
能量穩(wěn)定性	<2%
冷卻方式	風(fēng)冷AC
占空比	100%
機(jī)身材質(zhì)	不銹鋼，IP20

二、性能優(yōu)勢與行業(yè)適配

MLI-ArF-200-SP-AC激光器憑借193nm深紫外特性，在DUV掩模檢測、掩模清洗、光刻輔助工藝中表現(xiàn)突出。設(shè)備支持連續(xù)不間斷運行，風(fēng)冷結(jié)構(gòu)簡化現(xiàn)場部署，降低運維成本。MLase提供光路擴(kuò)展、機(jī)械安裝與接口定制，讓MLI-ArF-200-SP-AC快速融入OEM系統(tǒng)，適配半導(dǎo)體、光通信、微流控等多條產(chǎn)線。

三、Mlase激光器品牌常見型號一覽

MLase常見型號：MLI-ArF系列、MLI-KrF系列、MLI-KrFFBG系列、ELIOS激光系統(tǒng)

北京漢達(dá)森機(jī)械技術(shù)有限公司，田永福。