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產品簡介
| 價格區間 | 面議 | 應用領域 | 石油,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
|---|
DAVI-1200高機能外觀檢查系統是大途株式會社專為半導體芯片研發的高精度外觀檢測設備，核心功能涵蓋芯片尺寸測量、表面劃痕及缺陷檢測等關鍵工序，能夠輕松實現高精度、高效率的外觀檢查，為半導體芯片生產過程中的質量管控提供有力支撐
產品介紹
Daitron/大途 高性能目視檢查系統
Daitron/大途 高性能目視檢查系統
DAVI-1200高機能外觀檢查系統是大途株式會社專為半導體芯片研發的高精度外觀檢測設備，核心功能涵蓋芯片尺寸測量、表面劃痕及缺陷檢測等關鍵工序，能夠輕松實現高精度、高效率的外觀檢查，為半導體芯片生產過程中的質量管控提供有力支撐。設備融合高速長深度測量（多焦點成像）、高精度測量及自由重組圖像處理流程三大核心技術，兼顧檢測效率與檢測精度，適配半導體芯片生產中的多種檢測需求，可有效識別微小缺陷，減少不良品流出，提升生產良率。無論是批量生產中的連續檢測，還是個性化的精準檢測需求，該系統都能憑借靈活的設計與穩定的性能，滿足工業生產中的多樣化應用場景，助力企業實現高效、精準的質量管控。
產品特點
該系統在檢測性能、操作便捷性及硬件適配性上具備顯著優勢，核心特點如下：一是高速長深度測量（多焦點成像），通過Z軸圖像合成處理，即便使用高倍率鏡頭，也能快速獲取深度清晰的圖像，同時可對傾斜的工件進行平面校正，確保檢測數據的準確性；當以1μm間距合成20張圖像時，處理時間可控制在200ms以下（具體處理時間隨獲取圖像數量變化），大幅提升檢測效率。二是高精度測量能力，在20X放大倍率下，可實現1μm以下的邊緣缺陷及劃痕檢測，同時支持從任意虛擬線出發，對芯片的缺口、突出等邊緣問題進行精準檢測，滿足半導體芯片高精度的質量管控要求。三是可自由重組圖像處理流程，基于HALCON技術打造，支持通過拖拽粘貼的方式創建圖像處理流程，無需具備專業編程知識，即可靈活運用高性能的HALCON函數庫，降低操作人員的使用門檻，提升操作效率。四是硬件選擇自由靈活，可自由選用市場上的相機、鏡頭、電腦等設備，同時支持線陣相機實時觀察，能夠根據客戶的具體規格需求，選擇最s適配的硬件組合，最大d化滿足不同場景的檢測需求。
補充說明
系統搭載*的檢測與圖像處理功能，除核心特點外，還具備豐富的檢測工具與數據處理能力，可實現自動檢測序列、品種注冊、數據及圖像記錄等功能，便于生產過程中的質量追溯與數據分析。圖像處理基于HALCON開發的原創操作界面，操作便捷且功能*，涵蓋多種濾波、圖像演算、統計分析及圖形創建功能，可根據檢測內容靈活調整，適配不同類型的半導體芯片檢測需求。同時，系統支持多種可選配置，包括深度學習功能（AI）、側面傾斜觀察相機等，且檢測平臺行程可根據檢測對象的具體需求進行定制設計，進一步提升設備的適配性與實用性，為客戶提供個性化的檢測解決方案。
規格項目 | 具體參數 |
|---|---|
裝置名稱 | 高精度外觀檢查機 DAVI-1200 |
測量平臺 | X,Y：□200mm區域；θ軸：±15° |
自動對焦 | Z軸（設定分辨率0.1μm）高速自動對焦功能（200msec/20枚），具體時間隨曝光時間變化 |
物鏡 | 20X（可自由選擇） |
檢查分辨率 | 可檢測1μm的劃痕、污染物；20X時分辨率0.25μm |
照明 | 同軸落斜照明（3色高亮度LED）、環形照明（3色LED照明：低角度） |
除振臺 | 被動式氣壓除振臺 |
控制 | PC（Windows系統） |
功能 | 自動檢測序列、品種注冊、記錄功能（結果數據及圖像） |
圖像處理 | 基于HALCON的原創操作界面 |
可選配置 | 深度學習功能(AI)、側面傾斜觀察相機；檢測平臺行程可根據客戶需求定制 |
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