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產品簡介
| 價格區間 | 面議 | 應用領域 | 石油,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
|---|
CVP-3000高精度晶圓斜面機,是迪特隆公司研發的革命性晶圓倒角設備,憑借創新的工藝設計,打破傳統倒角機的技術局限,實現了晶圓端面加工的高效化與高精度化。該設備核心優勢在于,可使用與樹脂鍵合磨輪相同的砂輪,將AS切片晶圓的端面精準研磨成T-R形,無需更換砂輪即可完成特定形狀加工,大幅提升加工效率與便捷性。
產品介紹
Daitron/大途 高精度晶圓斜面機
Daitron/大途 高精度晶圓斜面機
CVP-3000高精度晶圓斜面機,是迪特隆公司研發的革命性晶圓倒角設備,憑借創新的工藝設計,打破傳統倒角機的技術局限,實現了晶圓端面加工的高效化與高精度化。該設備核心優勢在于,可使用與樹脂鍵合磨輪相同的砂輪,將AS切片晶圓的端面精準研磨成T-R形,無需更換砂輪即可完成特定形狀加工,大幅提升加工效率與便捷性。同時,針對器件晶圓加工痛點,設備可在BG(背磨)工藝前對晶圓邊緣表面進行精細化處理,有效減少BG工藝后晶圓裂紋的產生,降低不良品率,為后續加工流程提供可靠保障。設備采用雙軸研磨部件設計,結構穩定、控制精準,廣泛應用于半導體晶圓高精度加工領域,適配AS切片晶圓、器件晶圓等多種加工場景,助力企業提升生產效率與產品質量。
產品特色
作為高精度晶圓斜面加工設備,CVP-3000憑借三大核心特色,在加工精度、效率與實用性上實現全面突破,具體如下:一是采用二軸型磨削設計,雙軸協同作業,運行穩定且控制精準,能夠實現晶圓邊緣與端面的精細化研磨,有效提升加工一致性,滿足高精度晶圓加工的嚴苛要求,適配各類對精度要求較高的晶圓加工場景。二是創新采用雙輪廓磨削法進行周邊細磨,相較于傳統機床,不僅加工精度顯著提升,有效降低加工誤差,保障晶圓端面形狀的精準度,還大幅縮短了加工時間,提升生產效率,助力企業實現規?;?、高效化生產,降低單位加工成本。三是具備*的檢測與反饋校正功能,可按需安裝晶圓形狀測量儀,在晶圓加工完成后,實時測量其截面形狀,同時將測量數據反饋至設備系統,進行自動校正,形成“加工-檢測-校正"的閉環流程,進一步提升加工精度,確保每一批次晶圓加工質量達標,減少人為干預帶來的誤差。
補充說明
設備整體設計兼顧高精度、高效性與便捷性,核心部件采用高品質材質打造,運行穩定、使用壽命長,可長期適配工業規?;a需求。其革命性的砂輪使用設計,簡化了加工流程,減少砂輪更換與庫存管理的成本,同時降低操作人員的操作難度。針對器件晶圓的BG前邊緣處理,有效解決了行業內BG后晶圓易開裂的痛點,大幅提升產品良率,為企業減少損耗、降低生產成本。此外,設備的靈活適配性強,可根據不同規格、不同工藝需求的晶圓,調整加工參數,搭配可選的晶圓形狀測量儀,進一步拓展設備的應用場景,滿足半導體行業高精度、高效化的晶圓加工需求,成為企業提升核心競爭力的重要設備支撐。
規格項目 | 具體參數 |
|---|---|
產品名稱 | 高精度晶圓斜面機 |
型號 | CVP-3000 |
制造商 | 迪特隆公司(ダイトロン株式會社/Daitron Corporation) |
核心功能 | 1. 用同一種樹脂鍵合磨輪將AS切片晶圓端面研磨成T-R形;2. BG前晶圓邊緣表面處理,減少BG后晶圓裂紋;3. 雙軸協同研磨,實現高精度加工 |
研磨類型 | 二軸型磨削 |
周邊細磨方式 | 雙輪廓磨削法(加工精度優于傳統機床,縮短加工時間) |
可選配置 | 晶圓形狀測量儀(可測量加工后截面形狀,并進行處理數據反饋校正) |
研磨部件 | 雙軸研磨部件 |







