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深圳市京都玉崎電子有限公司
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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 生物產業,石油,能源,電子/電池,綜合 |
|---|
USHIO牛尾深紫外UV汞燈UXM-501MA 高亮度·點光源Deep UV燈，以xennon燈為基礎，內含水銀等金屬蒸氣，專為更微小的半導體線路pa轉盤曝光場景開發，對遠紫外線具有強光譜特性，能精準滿足半導體曝光等高精度作業需求，憑借穩定的性能和優異的紫外輸出，成為工業精密加工領域的優選光源。
產品介紹
USHIO/牛尾 紫外汞燈
USHIO/牛尾 紫外汞燈
USHIO牛尾深紫外UV汞燈UXM-501MA 高亮度·點光源Deep UV燈®，以xennon燈為基礎，內含水銀等金屬蒸氣，專為更微小的半導體線路pa轉盤曝光場景開發，對遠紫外線具有強光譜特性，能精準滿足半導體曝光等高精度作業需求，憑借穩定的性能和優異的紫外輸出，成為工業精密加工領域的優選光源。
該系列深紫外UV汞燈以氙燈為基礎載體，搭配水銀等金屬蒸氣填充設計，既保留了氙燈的高亮度優勢，又通過金屬蒸氣的協同作用，強化了遠紫外線區域的光譜強度，可適配微小半導體線路的轉盤曝光工藝，為精密線路加工提供穩定、集中的紫外光源支持，有效保障曝光精度和加工效率。
關于產品壽命與使用規范，需特別說明：平均壽命指在額定電力連續點亮情況下的平均壽命時間，當出現以下兩種情況之一時，即視為壽命終止：①水平輻照度或總光束降至初期的70%；②燈具無法正常點亮。冷卻方面，需確保口金表面溫度控制在200℃以下，且水銀蒸發，避免因溫度過高或水銀蒸發不充分影響燈具性能和使用壽命。
此外，產品相關注意事項如下：φD1尺寸不包含芯片高度，安裝時需注意精準測量；點燈操作時，推薦使用恒功率控制的電源裝置，以保障燈具運行的穩定性，延長使用壽命，避免因電壓電流波動對燈具造成損耗。
USHIO牛尾深紫外UV汞燈系列涵蓋多種型號，除UXM-501MA外，還包括UXM-200H AX、UXM-501MD、UXM-1001MD、UXM-2004MD、UXM-5000MA等，不同型號在輸入功率、輻照度、尺寸等參數上各有差異，可根據不同工業場景的需求靈活選擇，廣泛應用于半導體曝光、精密加工等領域，為各類高精度紫外作業提供可靠的光源解決方案。
型式 | ランプ入力(W) | ランプ電流(A) | ランプ電圧(V) | 水平放射照度(μW/cm2) 210~300nm（距燈1m） | 水平放射照度(μW/cm2) 360~370nm（距燈1m） | 水平放射照度(μW/cm2) 400~410nm（距燈1m） | 水平放射照度(μW/cm2) 430~440nm（距燈1m） | 平均壽命(h) | 許容使用角度(垂直) | 冷極間(mm) | 寸法 L1(mm) | 寸法 L2(mm) | 寸法 n LJ(mm) | 寸法 φD1(mm) | 寸法 62 PUE(mm) | 寸法 φD?(mm) | 寸法 D4(ネジ規格) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
UXM-200H AX | 200 | 9.0 | 22.5 | 70 | 70 | 25 | 35 | 600 | ±15° | 1.9 | 114.3 | 95 | 48 | 18.5 | 12.7 | 12.7 | φ11.1 |
UXM-501MA MAX | 500 | 20 | 25 | 410 | 200 | 60 | 110 | 600 | ±15° | 3.0 | 180 | 150 | 80 | 29 | 13 | 13 | M5×0.9 |
UXM-501MD MAX | 500 | 20 | 25 | 415 | 190 | 60 | 100 | 600 | ±15° | 3.0 | 180 | 150 | 80 | 29 | 13 | 13 | M5×0.9 |
UXM-1001MD MAX | 1000 | 37 | 27 | 555 | 380 | 130 | 210 | 400 | ±15° | 4.0 | 237 | 191 | 100 | 42 | 20 | 20 | M8×1.25 |
UXM-2004MD MAX | 2000 | 59 | 34 | 880 | 790 | 250 | 320 | 400 | ±15° | 3.5 | 332 | 270 | 140 | 62 | 六角口金 | 27 | M8×1.25 |
UXM-5000MA | 5000 | 100 | 50 | 2200 | 1300 | 610 | 810 | 1000 | ±5° | 7.3 | 369 | 327 | 175 | 80 | 33.5 | 33.5 | M14×1.5 |
