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ULVAC愛發(fā)科日本優(yōu)選高頻電源系統(tǒng)EXO-13的操作說明

該裝置設(shè)計(jì)為高頻電源的外部振蕩器源。它能夠輸出13.56MHz的單個(gè)頻率的額定信號(hào)。此外,本機(jī)配備 1~4 個(gè) BNC 輸出端口,可為 4 個(gè)電源進(jìn)行同相高頻振蕩。*所連接電源的外部輸入端子必須端接至50Ω,并且必須能夠在10mW至100mW的距離內(nèi)工作。
特點(diǎn)
多達(dá)四個(gè)RF電源可以同步相位。
通過相位簇功能,低成本。
規(guī)格
Model:EXO-13
輸入規(guī)格:輸入電壓單相AC100V
輸入電容:1VA 或更低
輸出規(guī)格:振蕩頻率13.56MHz±0.05%
尺寸(W×D×H):不包含突起145×110×44 (mm)
請(qǐng)輸入賬號(hào)
請(qǐng)輸入密碼
請(qǐng)輸驗(yàn)證碼
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