日本原裝ULVAC愛發科分光橢偏儀1500A的操作說明

"Model:UNECS"是可以高速、高精度測量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。采用測量方式,高速測量和機體的小型化。UNECS-1500A采用自動R-θ平臺和自動對焦功能,可快速自動測量整個φ150mm樣品表面的膜厚,并以彩色圖顯示膜厚分布。
特點
高速測定:快照方法可高達20 ms的高速測量。
適用于可見光譜:波長范圍可選標準類型(530nm至750nm)和可見光譜類型(380nm至760nm)。
緊湊型傳感器單元:光發射和接收的傳感器僅由沒有旋轉機構的光學部件組成,因此非常輕且緊湊,并且不需要定期維護。
150mm自動載物臺:配備兼容φ150mm的R-θ自動載物臺,并具備自動對焦功能,可基板表面的自動映射測量。
用途
透明或半透明薄膜(氧化膜,氮化膜,抗蝕劑,ITO等)的膜厚,折射率,消光系數的測量。
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
以上信息由企業自行提供,信息內容的真實性、準確性和合法性由相關企業負責,化工儀器網對此不承擔任何保證責任。
溫馨提示:為規避購買風險,建議您在購買產品前務必確認供應商資質及產品質量。