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F-REX300XA高性能和靈活的管理層設備EBARA荏原的操作使用
產品介紹
配備了新開發的高效輸送機構和WPH優化算法。 憑借單臺、單頭和雙模塊系統等特性,Ebara保持了高度可靠的結構,同時進一步提升了生產力。 通過采用靈活的輸送機制和進一步的交叉污染措施,我們有助于提升產量。 此外,采用模塊化結構,便于修改和升級,未來功能擴展時能更快引入新功能。
此外,與F-REX300X型號相比,功耗降低了約10%,零件數量減少,導致供應鏈中的二氧化碳排放低。 我們支持環保的半導體制造。
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