Acona LE Mini光阻法顆粒計數儀是一款面向CMP工藝液的在線顆粒計數器，基于SPOS單顆粒計數原理，支持過濾前后及輸送末端的實時監測，提供大顆粒數量（LPC）趨勢與閾值統計，助力過濾優化、異常預警及放行決策，適用于CMP slurry生產、輸送與晶圓制造場景，提升過程控制精度與設備利用率。

Acona LE Mini光阻法顆粒計數儀在CMP工藝中，LPC（LargeParticleCount，大顆粒數量）常用于表征尾端大顆粒風險。LEMini支持在過濾前/過濾后/輸送末端等關鍵節點進行在線監測，為過濾優化、異常預警與放行決策提供數據支撐。  

【適用對象與場景】  

CMPslurry生產商：出廠質量控制、批間一致性、儲存/混配過程監控。  

SDS（SlurryDeliverySystem）集成商：輸送系統在線質量監測、報警聯動、維護窗口優化。  

晶圓廠CMP產線：POU端放行前監測、過濾器更換（filterchangeouts）評估、異常追溯。  

【POU在線顆粒計數器部署建議】  

POU的目標不是“做一次檢測"，而是讓數據直接服務于過程控制。典型部署點位包括：  

過濾前：建立來料與混配后基線，識別上游波動對LPC的影響。  

過濾后：驗證過濾效果與過濾器狀態，形成更換前后的特征曲線。  

SDS輸送末端（Tool端）：監控輸送鏈路對尾端大顆粒（LPC）的影響，捕捉末端異常。

圖1CMPslurry在儲存-混合-輸送-過濾-POU節點的旁路在線監測示意  

【核心技術與系統設計】  

1SPOS單顆粒計數  

采用SPOS（光阻/光消減）逐顆粒計數機制，輸出可用于過程控制的粒徑分布與閾值統計結果，面向CMPslurry的尾端大顆粒風險（LPC）提供可量化的數據依據。  

2在線穩定性設計  

面向在線連續或定時采樣使用需求，可按工況選配穩流、回壓、脫泡、保護過濾與沖洗等組件，用于降低氣泡/波動對趨勢數據的影響，并提升長期運行的可維護性與可重復性。  

3模塊化旁路流路  

旁路取樣——檢測——回流/排放路徑可配置，便于匹配不同現場管路與工藝窗口。對于高價值slurry，在不改變主流程的前提下完成在線顆粒監測與風險前移。  

4集成與聯動  

提供通訊與報警接口（按配置），用于對接SDS系統或上位機，實現在線數據歸檔、超限預警與維護事件關聯分析。  

常見問題|FAQ  

Q1：POU適合放在哪些位置？  

A：通常部署在過濾前/過濾后、混配后、SDS輸送末端（Tool端）等POU節點，用于在線觀察CMPslurry的LPC趨勢與閾值統計。  

Q2：CMPslurry的LPC指什么？  

A：LPC（LargeParticleCount）通常指超過某一閾值粒徑的大顆粒數量（如>0.5um、>1um、>5um等，按內控定義）。在CMP工藝中，LPC的異常上升常與劃痕風險、過濾狀態與輸送工況相關。  

Q3：在線數據可以用于什么決策？  

A：用于過濾器更換（filterchangeouts）優化、SDS工況調整、異常批次隔離、以及POU放行判定的趨勢依據。  

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