?電容薄膜真空計（Capacitive Diaphragm Gauge, CDG）的核心特點是：絕對壓力測量、與氣體成分無關、高精度、高穩定性、寬量程（通常 10?? 至 10? Pa）及良好抗過壓與耐腐蝕能力。???

• ?絕對壓力測量?：直接反映氣體全壓，不依賴氣體種類（非熱傳導或電離原理），可作低真空段（約 0.01–100 Pa）副標準。

• ?高精度與線性好?：重復性和線性度通常優于 ±0.1% FS，響應快、無熱效應，適合精密控制與校準。

• ?抗干擾性強?：耐腐蝕（常采用不銹鋼、因科鎳合金或陶瓷膜片）、可耐大氣沖擊甚至短時暴露于常壓（部分型號支持“過壓保護"）。

• ?溫度穩定性較好?：現代產品集成溫度補償，溫漂約 ±0.02%–0.2%/°C（視設計而定），但溫度仍需防護。

• ?結構牢固、可烘烤?：金屬或陶瓷膜片設計支持高真空系統原位烘烤（通常 ≤150°C），適用于半導體、鍍膜等潔凈工藝。

• ?局限性?：對安裝方位敏感（重力影響膜片形變）、需定期校準零點、不適用于超高真空（<10?? Pa），且膜片污染（如粉塵、油霧）不可逆影響精度。??

廣泛用于半導體制造、真空鍍膜、科研，及高純工藝中對?低至中真空段精確、穩定、無成分依賴?測壓的場景

蘇州昀控電子科技有限公司電容薄膜真空計在半導體，核工業，軍工，大規模集成電路上均有應用。