27×22×25mm（長寬高）超小封裝尺寸

高精度、高分辨率控制，控制精度±0.2%

控制量程范圍-15～150 PSIG

RS-485 Modbus RTU通信模式

Epc微壓力控制器/電子壓力控制器采用電磁比例閥，使用壽命長，響應速度快

y應用領域  氣相和液相色譜儀

半導體工藝

環境監測設備 (如VOC S 等 )

微反應裝置及材料制備實驗裝置 (CVD)'D)

反應器壓力控制

氣體發生器

氣體流量控制

Epc微壓力控制器/電子壓力控制器核心優勢：
采用的控制算法與高靈敏度傳感器，實現快速、穩定的壓力設定與控制。具備優異的重復精度與長期穩定性，適用于對壓力控制有苛刻要求的工藝場景，如半導體薄膜沉積、氣體混合配比、閥門校準等。

價值體現：提升工藝一致性，保障產品良率，實現生產過程的精細化管控。

高性能MFC質量流量計/控制器

核心優勢：提供從標準型到高精度型的全系列產品，測量與控制范圍寬廣，響應迅速。具備出色的線性度與低零點漂移特性，支持多種通訊協議，能與各類工業系統無縫集成。

價值體現：實現對工藝氣體流量的精確計量與動態控制，是優化反應過程、提高資源利用率、確保安全與環保排放的關鍵部件。

電容薄膜式真空計

核心優勢：采用穩定性的電容薄膜傳感器，實現從大氣壓到真空度的寬量程精確測量。幾乎不受氣體種類影響，讀數精準，尤其適用于需要監測高純、腐蝕性或多組分氣體的真空環境。

價值體現：為真空工藝腔室、鍍膜設備、分析儀器等提供可靠的過程“眼睛”，是保障真空工藝質量與可重復性的基石。