G100C系列氣體質量流量控制器標配高精度傳感器和數字電路，數字電路可完成測量及控制所需的所有基本功能。G100C系列采用標準的RS-485 Modbus RTU通信模式，可擴展多臺設備同時使用。

小封裝尺寸

集成40種基礎氣體種類

無安裝方向限制

RS-485 Modbus RTU通信模式

采用電磁比例閥，使用壽命長，響應速度快

G100C氣體質量流量控制器特點：

高精度、高分辨率控制

DC 9-36V寬電壓供電

低功率，功率<2W

集成40種基礎氣體種類

可自定義10種混合氣體

控制參數自整定功能

數字化控制，RS-485 Modbus RTU通信模式

寬流量量程范圍：

無需預熱

無安裝方向限制

具有高重復性和高可靠性

采用電磁比例閥，使用壽命長，響應速度快

自帶溫度補償，補償范圍0-50℃

內部閉環控制，具有高穩定性

小封裝尺寸

量程及精度簡介：

可用量程：

0-20slpm

最小0-10sccm

常備量程請參考選型表：

量程比：100:1

滿量程精度：±0.5%

讀取精度：±1%

可重復性：±0.5%FS

響應時間：<100ms(調節PID控制參數可縮短響應時間)

數字式設計簡介：

G100C系列質量流量 控制器標配高精度傳感器和數字電路，數字電路可完成測量及控制所需的所有基本功能。G100C系列采用標準的RS-485 Modbus RTU通信模式。RS-485總線可擴展至255臺設備同時使用。

氣體質量流量控制器應用領域：

氣相和液相色譜儀

半導體工藝

環境監測設備

微反應裝置及材料制備實驗裝置(CVD)

氣體發生器

配氣混氣系統