日本YOKOHAMA消泡罐脫氣模組介紹：

橫濱理化（YOKOHAMA RIKA）MF系列是日本原裝的氟系中空纖維膜脫氣/消泡模塊，專為半導體、FPD等高純化學品制程設計，核心用于在線去除光刻膠、顯影液、溶劑中的微氣泡與溶解氧。

日本YOKOHAMA消泡罐脫氣模組五大核心優勢：

超高效脫氣消泡：

采用氟系中空纖維膜技術，可同時去除溶解氣體（O?, CO?）與微氣泡。

脫氣后溶解氧可降至10ppb以下，杜絕制程缺陷。

耐強腐蝕，全PFA流路

與藥液接觸部分全為PFA材質，耐強酸、強堿及各類有機溶劑（如PGMEA、NMP）。

無金屬溶出，適配半導體高純工藝。

性能強、成本低：

相比傳統PTFE脫氣模塊，性能提升40%，價格降低40%。

結構緊湊，無需電源，直接串接管路即可在線連續脫氣。

長壽命、低維護：

膜絲強度高，耐溶劑、不易堵塞。

無活動部件，免維護、壽命長，大幅降低備件成本。

安裝靈活：

標準快插接口，即插即用，可垂直/水平任意安裝。

支持串聯/并聯擴容，適配不同流量需求。

五大核心應用領域：

半導體制造：光刻膠、顯影液、蝕刻液、剝離液、清洗液

FPD/液晶：彩色光刻膠、ITO蝕刻液、顯影液

新能源：鋰電池電解液、導電漿料、固態電池材料

電子材料：CMP拋光液、高純度化學品、納米分散液

精密化工：UV油墨、精密涂料、醫療試劑