日本TOKYO DYLEC臭氧分析儀臭氧密度計

一、核心原理

采用紫外吸收法（UV Absorption），基于朗伯 - 比爾定律：

利用臭氧對波長 254nm 紫外線的特異性吸收。

通過測量紫外光穿過樣氣前后的光強變化，精確計算出臭氧濃度。

優勢：穩定性高、無耗材、響應快、不受其他氣體干擾。

二、關鍵技術參數

測量范圍：雙量程自動切換

量程 1：0 ~ 1.000 ppm (分辨率 0.001 ppm)

量程 2：0 ~ 20.00 ppm (分辨率 0.01 ppm)

測量精度：±0.5% FS（滿量程）

重復性 / 線性：±0.5% FS

零點漂移：±0.5% FS / 月（極低長期漂移，適合連續監測）

響應速度：測量周期 12~30 秒（出廠設定）

樣氣流量：1.5 ~ 2.0 L/min（內置泵）

顯示：紅色 LED 數字顯示，清晰直觀

信號輸出：

模擬輸出：0~1V DC（絕緣）

數字接口：RS-232C

報警功能：高低兩段報警（ALARM1/2），繼電器接點輸出

電源：AC 100V, 50/60Hz，功耗約 70W

尺寸 / 重量：430(W)×132(H)×410(D) mm / 約 9 kg（標準機架式）

三、主要特點

超高精度與穩定性

極低的漂移量（±0.5% FS / 月），確保長期在線監測數據準確可靠，

超微量檢測

最小分辨率達 0.001 ppm，精準捕捉低濃度臭氧泄漏與污染，保護精密工藝與人員安全。

工業級可靠設計

標準 19 英寸機架 安裝，內置氣泵，結構堅固，適配工業現場長期連續運行。

*的控制接口

具備模擬信號、數字通信與報警輸出，輕松接入工廠自動化（FA）與環境監控系統。

四、典型應用場景

半導體 / 電子制造：潔凈室、光刻區、蝕刻工藝的臭氧泄漏監測與環境控制。

環境監測：大氣環境、實驗室、科研場所的微量臭氧濃度分析。

工業安全：臭氧發生器、污水處理、食品加工車間的安全濃度監控。

精密材料：航空、光學材料等對臭氧敏感的材料老化與防護研究。

日本TOKYO DYLEC臭氧分析儀臭氧密度計