韓國DK-LOK高壓氣動直通閥半導體級高純

產地：韓國原廠原裝制造（MADE IN KOREA）

類目歸屬：半導體產品 → 潔凈隔膜閥系列（氣動執行器款）

完整型號：PVBC

產品全稱：半導體級高純 Pneumatic Vacuum-Blowdown Clean 系列氣動隔膜閥（核心為Pneumatic（氣動）驅動的VBC基礎隔膜閥產品）

韓國DK-LOK高壓氣動直通閥半導體級高純

產品外觀與結構詳解

整體結構

產品由高純不銹鋼方體閥體與頂部氣動執行器兩大部分組成。

閥體：延續 DK-LOK 半導體閥體系列，采用一體精密鍛造 316L 不銹鋼方體結構，剛性強，抗高壓形變。兩端為雙卡套（VCR）或外螺紋標準接口，適配半導體超高純管路快速連接。

執行器：頂部為銀色鋁合金 / 不銹鋼氣動執行機構，表面做防指紋處理。頂面印有 ** 紅色 “OPEN"（開）與藍色 “CLO"（Close，Close 縮寫）** 指示標識，指針指示閥門實時開關狀態，視覺指示清晰。

內部核心結構

內部為隔膜式密封結構。氣動執行器通過內部活塞組件，接收氣信號后驅動閥桿下壓或回彈，帶動PCTFE 高純隔膜上下運動，從而控制流道的通斷。

無填料設計：無閥桿外露穿過腔體，從根源杜絕了普通球閥 / 針型閥因填料函導致的外泄漏與內污染風險。

低死區流道：流線型腔體設計，內部滯留體積極小，氣體置換，不產生微顆粒。

四、工作原理

氣動自力型控制閥門，通過外接壓縮空氣信號驅動：

開啟動作：當通入開啟氣壓（信號）時，執行器內部彈簧力或氣壓推力抬起閥芯，隔膜脫離閥座，管路導通，介質（特氣）順暢通過。

關閉動作：當關閉氣壓施加 / 斷開氣源時，執行器推桿下壓隔膜，緊密壓合閥座，管路精密關斷，實現零泄漏阻斷。

反饋指示：頂部指針隨閥芯行程同步移動，可由 PLC / 傳感器遠程讀取閥門開關位置（開到位 / 關到位 / 中間位），實現自動化閉環控制。

五、原廠完整技術參數

閥體材質：主體為316L 不銹鋼，抗應力腐蝕、耐機械沖擊，耐壓強度。

潔凈處理等級：全閥體EP 級電解拋光（Electro-Polished），內壁 Ra≤0.6μm。原廠經過超純水清洗、氦檢氣密測試、百級潔凈封裝，半導體 **6N（99.9999%）** 及以上超高純氣體輸送標準。

隔膜材質：采用PCTFE（三氟氯乙烯）或高純 PTFE特種隔膜。耐絕大多數半導體腐蝕性氣體（含氟蝕刻氣、MO 源金屬有機前驅體、氯氣等），耐高低溫，抗老化，密封壽命長。

壓力等級：最高工作耐壓 6000 psig (413 bar)，耐壓能力覆蓋半導體特氣系統全工況。

工作溫度：-40℃ ~ +200℃，適配低溫液氮伴管、高溫工藝爐等復雜環境。

接口形式：適配 **1/8"~ 1/2"** 半導體常用小口徑管路。接口可兼容標準 VCR 接頭或 DK-LOK 專屬高純外螺紋接頭。

驅動氣源：標準工業氣源壓力（通常 0.4~0.6MPa），兼容半導體工廠特氣系統通用潔凈氣源。