韓國(guó)FEMTOSCIENCE小型臺(tái)式真空等離子清洗機(jī)

產(chǎn)品介紹

本設(shè)備為CUTE 系列臺(tái)式真空等離子體處理系統(tǒng)，是專為科研實(shí)驗(yàn)室、微電子精密制程打造的小型一體化等離子設(shè)備。整機(jī)采用桌面式集成化設(shè)計(jì)，搭載成熟 PE 等離子發(fā)生工藝，從真空腔體、射頻電源、氣體流量控制到智能操作系統(tǒng)全部集成一體化，兼顧精密處理性能與便捷使用體驗(yàn)，廣泛應(yīng)用于材料表面活化、精密清洗、表面刻蝕、界面改性等科研實(shí)驗(yàn)與小型精密制程場(chǎng)景。

韓國(guó)FEMTOSCIENCE小型臺(tái)式真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品核心特性

小型臺(tái)式集成機(jī)身，空間適配性強(qiáng)

整機(jī)外形緊湊，桌面式占地面積小，無(wú)需額外基建空間，可直接放置于實(shí)驗(yàn)室操作臺(tái)；腔體尺寸適配各類中小型樣品，開箱操作便捷，樣品取放靈活。

高穩(wěn)定寬域真空系統(tǒng)

壓強(qiáng)覆蓋常壓至高真空區(qū)間，密閉腔體環(huán)境潔凈穩(wěn)定，等離子體場(chǎng)內(nèi)分布均勻，有效避免樣品處理不均、局部效果差異問(wèn)題，保障精密處理一致性。

高精度氣電控制系統(tǒng)

搭載寬頻可調(diào)射頻發(fā)生器，功率輸出穩(wěn)定可調(diào)；配套高精度 MFC 質(zhì)量流量控制器，氣體流量精準(zhǔn)可控，可靈活適配多種工藝氣體，自定義優(yōu)化處理參數(shù)。

人機(jī)友好雙模式操作

搭載高清觸控顯示屏，流程可視化界面，同時(shí)支持手動(dòng)參數(shù)調(diào)試、全自動(dòng)程序運(yùn)行兩種模式；自帶急停安全防護(hù)系統(tǒng)，操作安全可控，新手調(diào)試與量產(chǎn)程序運(yùn)行均可適配。

多場(chǎng)景全能工藝適配

成熟 PE 等離子工藝，可實(shí)現(xiàn)精密零部件等離子清洗、材料表面親水化活化、微納刻蝕、界面粘接改性等功能，適配半導(dǎo)體、微電子、高分子材料、生物醫(yī)藥、高校科研等多領(lǐng)域?qū)嶒?yàn)與生產(chǎn)需求。