韓國FEMTOSCIENCE臺式等離子機清洗機

產(chǎn)品介紹

本設備為CUTE 系列臺式真空等離子體處理系統(tǒng)，是專為科研實驗室、微電子精密制程打造的小型一體化等離子設備。整機采用桌面式集成化設計，搭載成熟 PE 等離子發(fā)生工藝，從真空腔體、射頻電源、氣體流量控制到智能操作系統(tǒng)全部集成一體化，兼顧精密處理性能與便捷使用體驗，廣泛應用于材料表面活化、精密清洗、表面刻蝕、界面改性等科研實驗與小型精密制程場景。

韓國FEMTOSCIENCE臺式等離子機清洗機產(chǎn)品核心特性

小型臺式集成機身，空間適配性強

整機外形緊湊，桌面式占地面積小，無需額外基建空間，可直接放置于實驗室操作臺；腔體尺寸適配各類中小型樣品，開箱操作便捷，樣品取放靈活。

高穩(wěn)定寬域真空系統(tǒng)

壓強覆蓋常壓至高真空區(qū)間，密閉腔體環(huán)境潔凈穩(wěn)定，等離子體場內分布均勻，有效避免樣品處理不均、局部效果差異問題，保障精密處理一致性。

高精度氣電控制系統(tǒng)

搭載寬頻可調射頻發(fā)生器，功率輸出穩(wěn)定可調；配套高精度 MFC 質量流量控制器，氣體流量精準可控，可靈活適配多種工藝氣體，自定義優(yōu)化處理參數(shù)。

人機友好雙模式操作

搭載高清觸控顯示屏，流程可視化界面，同時支持手動參數(shù)調試、全自動程序運行兩種模式；自帶急停安全防護系統(tǒng)，操作安全可控，新手調試與量產(chǎn)程序運行均可適配。

多場景全能工藝適配

成熟 PE 等離子工藝，可實現(xiàn)精密零部件等離子清洗、材料表面親水化活化、微納刻蝕、界面粘接改性等功能，適配半導體、微電子、高分子材料、生物醫(yī)藥、高校科研等多領域實驗與生產(chǎn)需求。