韓國FEMTOSCIENCE臺式真空等離子系統

產品介紹

本設備為韓國 FEMTO SCIENCE 品牌 COVANCE 型號臺式真空等離子體處理系統，是原廠旗下升級款中型一體化等離子設備，定位高于入門級 CUTE 機型，專為中等樣品量、多工藝場景科研實驗與精密制程打造。

整機集成大容積真空腔體、雙頻率大功率射頻電源、大流量高精度氣體控制系統、智能觸控操作系統，采用成熟 PE 等離子發生工藝，腔體空間、功率上限、氣路量程全面升級，兼顧穩定處理性能、寬泛工藝適配性與便捷桌面式使用體驗，廣泛應用于材料表面活化、精密器件清洗、微納刻蝕、界面粘接改性、高分子材料改性等高校科研、微電子、半導體精密研發場景。

韓國FEMTOSCIENCE臺式真空等離子系統產品核心特性

原廠原裝升級機型

韓國 FEMTO SCIENCE 原廠正牌設備，同品牌臺式等離子系列中端機型，工藝成熟穩定，設備品控與售后體系*。

大容積密閉真空腔體

腔體尺寸全面擴容，內部有效處理空間更大，可兼容更多品類、更大尺寸的待處理樣品，密閉腔體等離子場分布均勻，處理一致性優秀。

雙頻大功率射頻系統

搭載雙頻率射頻發生模塊，覆蓋低頻、高頻雙工作頻段，功率上限最高可達 300W，功率輸出穩定可調，可適配更多樣化等離子工藝需求。

寬量程高精度氣路控制

升級 MFC 質量流量控制器，最大氣體流量可達 200sccm，流量控制精度高、調節范圍廣，可靈活適配多種工藝氣體及配比方案。

便捷智能全集成操作

桌面式緊湊機身設計，無需大型場地；高清觸控交互界面，流程可視化，支持手動參數調試、全自動程序運行雙模式；配備*安全防護結構，樣品取放、設備運維便捷簡單。