韓國FEMTOSCIENCE大容積等離子系統清洗機

產品介紹

本產品為韓國 FEMTOSCIENCE 品牌 VITA 12 系列立式真空等離子清洗機，是專為半導體晶圓、薄件材料、中高批量工業生產設計的高產能工業級等離子表面處理系統。

設備采用一體化立式柜式機身設計，搭載工業級智能觸摸編程控制系統，內置同系列更大容積的垂直式高潔凈度不銹鋼真空處理腔體，在低氣壓真空環境下激發穩定均勻的等離子體，以干法物理化學協同作用完成工件表面處理。全程無需化學有機溶劑，無廢水廢液污染，屬于綠色潔凈干法工藝，可精準實現晶圓、薄件表面有機污染物去除、微觀雜質清洗、材料表面親水化活化、界面附著力提升等處理效果。

垂直式腔體結構專為晶圓、薄件等對放置方式敏感的工件優化，處理過程無機械應力，避免工件變形或損傷；同時更大的腔體容積支持多件工件 / 晶圓同時裝載處理，處理效率顯著提升，適配中高批量工業生產需求；整機支持多種工藝氣體靈活切換，功率、真空度、處理時間全參數可編程調控，內置多套工藝配方存儲調用，可滿足不同工業材料的處理需求；腔體自帶可視化觀察窗口，運行狀態實時可見，搭配多重安全聯鎖防護設計，機身運行穩定可靠。廣泛應用于半導體晶圓處理、中高批量微電子元器件生產、高分子薄件材料改性、精密光學件處理、醫療器械耗材批量生產等場景，解決材料粘膠差、結合力不足、表面活性低等行業痛點。

韓國FEMTOSCIENCE大容積等離子系統清洗機產品核心特性

韓國原廠工業級等離子技術

源自韓國 FEMTOSCIENCE 專業等離子設備品牌，核心等離子技術成熟穩定，等離子密度分布均勻，處理效果一致性高，是半導體與工業領域高可靠性設備。

大容積垂直式晶圓友好腔體

同系列更大的垂直式腔體結構，專為晶圓、薄件等對放置方式敏感的工件優化，處理過程無機械應力，同時支持多件工件同時裝載，兼顧了工件保護與生產效率。

高產能工業級批量處理能力

更大的腔體容積帶來更高的處理產能，可滿足中高批量工業生產需求，大幅縮短生產周期，在保證處理均勻性的同時提升整體生產效率。

智能觸屏工業級控制系統

搭載高清工業觸控觸摸屏，全流程參數可視化調節，支持工藝程序自定義編輯、配方存儲與批量調用，適配產線級穩定運行需求，操作便捷高效。

多工藝適配工業材料處理

兼容氧氣、氬氣、氮氣等多類工藝工作氣體，適配半導體、微電子、塑膠、金屬、玻璃、醫療器械、高分子材料等絕大多數工業材質工件，覆蓋中高批量工業生產全場景表面處理需求。