韓國FEMTOSCIENCE氣相沉積鍍膜系統

產品介紹

本產品為韓國 FEMTOSCIENCE 品牌 LAVIDA 110 系列派瑞林（Parylene）氣相沉積鍍膜系統，是專為半導體、微電子、醫療器械、精密電子等行業研發的工業級精密真空鍍膜設備。

設備采用成熟的派瑞林氣相沉積工藝，原料在蒸發器中受熱蒸發，進入三區加熱裂解爐后被分解為活性單體，在真空腔體中均勻沉積于工件表面，形成一層無針孔、均勻致密的高分子防護涂層。全程在高真空環境下進行，無溶劑污染，涂層厚度可精準控制，能顯著提升工件的防潮、絕緣、防腐蝕、生物相容性與耐候性。

設備搭載多步程序控溫蒸發器（最高 200℃，10 步控溫）與三區加熱裂解爐（最高 800℃），可實現原料蒸發與裂解過程的精準控制，保證鍍膜質量的一致性；鍍膜腔體內徑 200× 長度 420mm，支持多件工件同時裝載處理，適配中批量工業生產需求；支持手動 / 自動雙模式操作，可一鍵運行預設量產工藝，也可分步手動調試研發工藝，兼顧穩定性與靈活性。廣泛應用于半導體芯片、PCB 線路板、精密電子元件、醫療器械耗材、傳感器等產品的防護涂層制備，解決工件防潮絕緣差、易腐蝕、生物相容性不足等行業痛點。

韓國FEMTOSCIENCE氣相沉積鍍膜系統產品核心特性

韓國原廠派瑞林工藝技術

源自韓國 FEMTOSCIENCE 專業鍍膜設備品牌，成熟的氣相沉積工藝技術，鍍膜均勻性與致密度優異，是行業高可靠性設備。

三區裂解爐 + 多步控溫蒸發器

800℃三區加熱裂解爐，實現派瑞林單體均勻裂解；最高 200℃、10 步程序控溫蒸發器，可精準控制原料蒸發速率，適配不同類型的派瑞林材料。

工業級批量鍍膜處理能力

內徑 200× 長度 420mm 大容積鍍膜腔體，支持多件工件同時裝載處理，在保證鍍膜均勻性的同時大幅提升生產效率，適配中批量工業生產需求。

手動 / 自動雙模式靈活操作

支持全自動程序運行與手動分步控制，可一鍵調用預設量產工藝，也可分步手動調試研發工藝，兼顧了量產穩定性與研發調試的靈活性。

一體化工業級穩定耐用架構

全封閉工業鈑金機身，帶腳輪可移動設計，適配工廠車間復雜工況；設備運行穩定性強，可長時間連續運行，是中批量派瑞林鍍膜生產的理想設備。