日本康肯半導體 LCD 產線廢氣處理設備

KT1000MFS 是日本 KANKEN Techno 推出的緊湊型、低成本高負載廢氣處理裝置，專為 200mm/300mm 半導體生產線及 LCD 等高負載產線的工藝廢氣無害化處理設計。它以節省空間、低維護成本為核心優勢，是高密度潔凈廠房中高負載廢氣處理的高效解決方案。

日本康肯半導體 LCD 產線廢氣處理設備

五大核心產品優勢

1. 緊湊型設計，大幅節省廠房空間

專為高密度潔凈廠房設計，設備體積緊湊，可直接并排安裝在維護空間的前后兩側，不占用寶貴的潔凈室面積，是 300mm 先進工廠中高密度布局的理想選擇。

2. 低成本高負載，性價比突出

相比傳統大型設備，KT1000MFS 以更低的設備成本與運行成本，滿足高負載廢氣處理需求，是半導體與 LCD 產線降本增效的優選方案。

3. 前后雙向維護設計，運維便捷高效

前后兩側均設置低維護區，支持設備前后操作，無需額外預留單側大空間，維護人員可從任意一側快速完成檢修、耗材更換等操作，大幅提升運維效率。

4. 適配高負載產線，工藝兼容性強

專為 200mm/300mm 半導體生產線及 LCD 等高負載產線設計，可穩定處理高濃度、大流量的工藝廢氣，在全球多家先進工廠擁有成熟應用業績，工藝兼容性與可靠性經過市場驗證。

5. 全集成化設計，部署便捷

一體化機柜設計，將核心處理單元、控制系統、風機集成于一體，減少現場安裝與調試工作量，快速對接產線廢氣排放系統，縮短投產周期。

典型應用場景

半導體行業：200mm/300mm 晶圓制造產線的 CVD、蝕刻工藝高負載廢氣處理。

LCD / 面板行業：高負載液晶面板產線的有機廢氣與酸堿廢氣處理。

高密度潔凈廠房：空間受限的先進工廠中，高負載廢氣處理系統的緊湊型部署。