韓國 INNODIS QDR 耐腐蝕氣動止回閥 

INNODIS QDR 系列是專為高純腐蝕介質(zhì)設(shè)計的氣動驅(qū)動 + 單向密封止回閥，結(jié)合 PFA 全氟材質(zhì)與氣動輔助復(fù)位，在半導(dǎo)體、化工藥液管路中實現(xiàn)可靠防回流、防虹吸、防水錘，兼容自動化聯(lián)鎖控制，是高純流體系統(tǒng)安全防護的關(guān)鍵閥件。

韓國 INNODIS QDR 耐腐蝕氣動止回閥 

 核心產(chǎn)品優(yōu)勢

PFA 通體耐腐，高純低析出

閥體、閥瓣、密封件均為高純 PFA，耐受、強酸強堿、臭氧、有機溶劑等強腐蝕介質(zhì)；材質(zhì)低溶出、低吸附、無顆粒釋放，符合半導(dǎo)體超凈制程與高純度化學(xué)品輸送要求。

氣動輔助單向密封，零泄漏防回流

采用氣動復(fù)位 + 介質(zhì)自驅(qū)雙重密封機制：正向介質(zhì)壓力開啟，反向時氣動彈簧 + 介質(zhì)背壓雙向壓緊密封面，零泄漏阻斷回流；內(nèi)置 Mega Lock 密封結(jié)構(gòu)，密封力均勻、抗疲勞，長期運行無滴漏。

自動防回流 + 自動化兼容，安全聯(lián)鎖

無需人工干預(yù)，介質(zhì)流向自動啟閉，防止泵反轉(zhuǎn)、介質(zhì)倒灌與交叉污染；氣動執(zhí)行機構(gòu)可接入 PLC 系統(tǒng)，實現(xiàn)遠程監(jiān)控、報警聯(lián)鎖，適配半導(dǎo)體 Fab 與化工自動化產(chǎn)線。

高潔凈，易清洗免維護

流路直通無滯留、死區(qū)極小，內(nèi)壁光滑不易結(jié)垢結(jié)晶，適配 CIP 在位清洗；無填料、無外漏，長期免維護，降低高純系統(tǒng)污染風(fēng)險與運維成本。

工況適配廣，結(jié)構(gòu)緊湊易安裝

工作溫度 -20～180℃，工作壓力 0～0.6MPa，兼容冷熱交替與中高壓藥液管路；緊湊型設(shè)計，標(biāo)準(zhǔn)入珠 / 法蘭接口，安裝空間小、拆裝便捷。

 典型應(yīng)用場景

半導(dǎo)體濕法制程（核心）

晶圓蝕刻 / 清洗 / 剝離設(shè)備：HF、HCl、NaOH、氨水等腐蝕藥液管路防回流、防虹吸。

集中化學(xué)品供給系統(tǒng)：支路切斷與防倒灌保護，避免不同藥液交叉污染。

超純水（UPW）與臭氧水回路：防水錘、防倒流，保障高純水質(zhì)穩(wěn)定。

化工精細流體輸送

精細化工反應(yīng)釜 / 儲罐出口：高純試劑、催化劑、強氧化介質(zhì)防回流，保護設(shè)備與制程安全。

酸堿廢液 / 廢氣洗滌塔管路：腐蝕廢液單向隔離，防止倒灌污染上游系統(tǒng)。

光電 / 光伏行業(yè)

顯示面板 / 光伏電池片濕制程：腐蝕液、清洗液、剝離液管路防倒流，保障制程一致性與良率。

高純水與制藥輔助系統(tǒng)

制藥注射用水（WFI）、純蒸汽回路：無菌防回流，符合 GMP 與 FDA 認(rèn)證要求。

實驗室高純試劑管路：取樣 / 旁路防倒流，防止污染試劑源。