Bronkhorst可控蒸發混合輸送系統

產品型號

完整系列：CEM-System（CEM Vapor Delivery System）

品牌：Bronkhorst（布瑯軻鍶特）

Bronkhorst可控蒸發混合輸送系統核心賣點

高精度化學蒸發控制

專為液體前驅體設計，實現穩定、可控的汽化與氣相輸送，保障半導體工藝重復性。

一體化系統設計

集成汽化、計量、控制功能，簡化設備集成流程，降低系統復雜度。

精準流量與溫度控制

可實現氣相流量與汽化溫度的閉環控制，適配 CVD/ALD 等半導體薄膜沉積工藝。

低揮發性液體適配

支持各類低揮發性、腐蝕性液體前驅體的穩定汽化與輸送，應用場景廣泛。

高工藝兼容性

可與多種半導體工藝設備無縫對接，滿足實驗室研發與量產線的工藝需求。

產品介紹

Bronkhorst CEM-System 是專為半導體與先進材料工藝打造的化學蒸發物料輸送系統，主要服務于 CVD（化學氣相沉積）、ALD（原子層沉積）等薄膜制備場景，為低揮發性液體前驅體提供穩定、可控的汽化與氣相輸送解決方案。

該系統采用一體化設計，集成了汽化模塊、流量計量模塊與控制模塊，可實現對前驅體溫度、氣相流量的精準閉環控制，確保工藝過程的穩定性與重復性。系統支持多種低揮發性、腐蝕性液體前驅體的處理，可直接對接各類工藝設備，是半導體制造、材料科學研發中氣相前驅體輸送的理想解決方案。