日本昭和科學SSVI 頂級高性能主動隔振器
VAAV-L 是 SSVI 昭和科學 VAAV 主動隔振系列高性能頂配款,專為低頻振動干擾嚴重、對微振動零容忍的超精密設備開發,相比標準 A 款、超薄 H 款,搭載全系最柔軟空氣彈簧,低頻隔振能力大幅提升。
日本昭和科學SSVI 頂級高性能主動隔振器
頂配軟空氣彈簧,低頻減振核心優勢
VAAV-L 搭載系列最柔軟空氣彈簧,針對廠房 1–10Hz 低頻干擾(空壓機、叉車、樓宇共振)優化,被動基礎隔振能力遠超 A/H 標準款;搭配主動前饋算法,適合老舊廠房、樓下有產線的惡劣安裝環境。
雙傳感前饋 SFF 控制,無共振傳遞
市面多數主動隔振僅采集載臺振動(反饋控制),振動傳遞曲線存在共振峰;VAAV-L 在地面側、設備載臺側各布置一組超高靈敏三軸傳感器,前饋算法預判地面震動,提前輸出反向抵消力,全程無共振區間,不會放大特定頻率振動,保護精密光學、晶圓設備不出現成像模糊、測量偏移問題。
雙向減振:同時抑制地面震動 + 設備自激振動
雙重減振邏輯:① 隔絕地面傳導的外部環境振動;② 快速衰減設備內部載臺、自動移載機構運動產生的自激激振;設備自動化往復運動時不會持續晃動,檢測成像穩定,大幅降低不良品率。
六自由度氣動閉環,自動高精度調平
內置全向氣動伺服控制,設備裝卸工件、重心偏移后自動微調三軸氣壓,快速恢復水平;長期使用無需人工頻繁調平,長期定位精度穩定,適配 24 小時不間斷量產產線。
日本昭和科學SSVI 頂級高性能主動隔振器
SAC-07 控制器 + 波形分析軟件,數據可追溯
標配專用控制主機與原廠振動分析軟件,實時顯示三軸振動幅值,自動記錄隔振前后對比波形;數據可導出存檔,滿足半導體工廠設備驗證、客戶稽核、實驗室論文數據支撐需求;控制器故障實時報警,快速定位氣源、傳感器故障點。
靈活多單元并聯組合方案
小型電鏡、檢測設備:4 單元 VAAV-L 四點支撐;大型光刻機、超大型三坐標:6 單元六點同步聯動;控制器支持多路同步驅動,整套系統同步運算,無單點減振滯后。
主流適配應用場景
半導體行業:晶圓光刻機、膜厚檢測機、探針臺、光學干涉量測設備
精密分析儀器:TEM 透射電鏡、SEM 掃描電鏡、AFM 原子力顯微鏡、激光干涉儀
精密加工:超微細 CNC、光學鏡片研磨機、超高精度三坐標測量儀
光學實驗室:全息檢測、顯微成像、光譜分析設備減振改造
液晶 / 面板產線:面板自動光學檢測 AOI 設備