日本MIKASA 潔凈室旋轉涂布機
MS-B100 是 MIKASA 專為實驗室研發的桌面式精密旋涂設備，適配中小型圓形晶圓與方形光學基板的各類液態涂層制備，是材料、半導體研發場景常用基礎制膜設備。設備采用無刷伺服動力結構，運行過程不會產生粉塵污染，可直接放置于潔凈室內使用，長時間作業狀態穩定。設備支持整套涂布工藝分段儲存調取，能夠重復復刻相同成膜流程，保證不同樣品涂層效果統一。
日本MIKASA 潔凈室旋轉涂布機
無刷伺服潔凈驅動，適配無塵實驗環境
設備搭載無刷伺服動力組件，運轉過程不會產生碳粉碎屑，不會對潔凈室環境、實驗基板造成污染；設備運轉發熱量低，長時間連續工作不會因升溫干擾涂層成型效果，運轉過程平穩無明顯抖動，保障涂層均勻度。
分段可編程工藝，實驗流程可重復復用
整機支持多套獨立工藝方案儲存，每套方案可拆分多段轉速、時長流程自由編輯，可提前保存各類標準涂布工藝，后續實驗一鍵調取使用。配套程序鎖定功能，避免非工作人員隨意改動參數，保障實驗數據與成膜效果穩定統一。同時支持方形基板定點停轉，方便人工取放樣品。
兼容多種基材，可視腔體便于觀察
可同時適配常規圓形晶圓與方形光學板材，內部腔體搭配透明密封上蓋，旋涂全過程可直觀觀察液體鋪展、成膜狀態。采用負壓真空吸附方式固定基板，薄脆玻璃、硅片均可牢固固定，吸附力度可靈活調節，防止輕薄基材碎裂。
日本MIKASA 潔凈室旋轉涂布機
雙重安全防護，規避高速運轉風險
設置艙門與真空雙重安全聯鎖機制，腔體上蓋未閉合時設備無法啟動；基板吸附負壓不足設備自動停機，避免高速旋轉時基材甩出造成樣品報廢或安全隱患，新手操作也不易出現失誤。
緊湊型臺式機身，部署便捷
整機為小型臺式一體化結構，無需預留大型安裝空間，普通實驗臺面均可放置，單人即可完成搬運移位。支持通用寬電壓供電，無需額外配備穩壓設備，底部減震腳墊可抑制機身運轉位移，擺放穩定。
耐腐蝕易清潔結構，適配各類化學涂層
機身外殼與腔體內部采用耐溶劑防腐材質，光刻膠、有機溶液揮發殘留可直接擦拭清理，不易被化學試劑腐蝕老化；操作面板耐酒精、溶劑擦拭，長期頻繁清潔不易損壞，維護簡單省力。
多元應用場景
半導體研發場景用于硅片光刻膠均勻涂布；光學實驗室用于玻璃、濾光片光學薄膜制備；高校材料實驗室開展高分子、納米涂層相關實驗；同時可用于 MEMS 傳感器、各類功能基材的液態涂層研發打樣。
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