白光干涉三維光學(xué)形貌儀具有精確的垂直測量范圍、精確的載物臺(tái)，可測量多種樣品的粗糙度、臺(tái)階高度、薄膜厚度和進(jìn)行形貌分析。經(jīng)濟(jì)實(shí)惠 高精確度，全自動(dòng)光學(xué)顯微鏡，亞納米分辨率

非接觸式形貌測量，高分辨率：

白光干涉測量技術(shù)用于生成表面形貌的二維和三維圖像

白光干涉和相移掃描(PSI)：

白光干涉三維光學(xué)形貌儀配備四波段LED光源(紅色、藍(lán)色、綠色、白色)，它可以輕松運(yùn)行白色干涉模式和共聚焦模式。無需經(jīng)驗(yàn)，一鍵即可輕松測量樣品。

變焦成像：

通過在不同聚焦平面上拍攝的一系列圖像，最終合成待測樣品三維形貌。

自動(dòng)拼接：

通過高分辨率的全自動(dòng)載物臺(tái)可實(shí)現(xiàn)大樣品的掃描并進(jìn)行精確自動(dòng)拼接，獲取完整的三維圖像。

應(yīng)用范圍：

航空航天、汽車、生物材料、涂層、金屬、光學(xué)和玻璃、聚合物、半導(dǎo)體、制藥、顯示器