核心特點

1. 輕氣與大腔雙適配：抽速覆蓋 1400–10000 L/min（輕氣型，如氫氣）和 20000–80000 L/min（大腔快速抽氣型），兼顧兩種核心需求。

2. 智能調速與高負載適配：轉子轉速智能控制，可靈活匹配氣體流量，應對高氣體負載；大直徑轉子設計，設備緊湊，占地小。

3. 耐腐蝕與定制化強：輕氣型可選增強耐腐蝕配置，適配 MO - CVD 等工況；大流量型號可選有機溶劑專用排氣配置。

4. 智能監(jiān)控與合規(guī)：配備 LCD 控制器，可編程報警設置，支持報警歷史存儲；具備 SEMI - S2、CE、NRTL 認證，適配半導體等較好制程。

5. 低噪低振：大流量型號運行安靜、振動小，便于系統(tǒng)集成與工廠環(huán)境維護。

關鍵技術參數(shù)

典型應用

• 輕氣型（如 ESA15 - D、ESA25 - D、ESA70W）：以 MO - CVD 為主，適配光伏、半導體領域的氫氣等輕氣體抽氣場景。

• 大流量型（如 ESA200W - ESA700W）：適配 LCD 濺射設備、真空干燥、大型負載鎖定腔室、光伏與平板顯示行業(yè)的大容積腔室快速抽氣。