EBARA 干式真空泵 EST 系列是基于螺桿泵技術的無水冷卻型真空泵，適用于處理反應副產物和大容積腔室的快速抽氣
。
以下是其詳細介紹：
適應高溫環境：配備高溫運行功能，可將泵內氣體維持在高溫狀態，防止反應副產物冷凝，適用于化學氣相沉積（CVD）等會產生反應副產物的工藝。
抽氣性能較好：采用螺桿式轉子，標準配置耐腐蝕材料，能實現高排氣速度和大抽氣量，有助于提高工藝效率，減少停機時間。
電源適應性強：不受頻率（50/60Hz）影響，可提供相同的抽氣性能。
符合相關標準：具備 CE 認證、SEMI-S2 標準認證和 NRTL 認證。
主要應用于半導體制造中的原子層沉積（ALD）、快速熱加工（RTP）、低壓化學氣相沉積（LPCVD）等工藝，也可用于光伏、化學等行業中需要處理粉狀、腐蝕性氣體的場合。
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