產品特點

• 高效節能：采用獨特的轉子設計和怠速功能，實現了高水平的節能效果，在同類型泵中功耗低。其直流電機驅動不受頻率（50/60Hz）影響，能提供更低的能耗和相同的抽氣性能。

• 緊湊輕便：具有占用空間小、重量輕的特點，例如 EV-S20 型號的尺寸僅為 230×450×275mm，重量為 60kg，便于安裝和搬運。

• 配置靈活：有多種配置可供選擇，EV-SP 型含氮氣吹掃功能，EV-SN 型采用鎳合金材料并配備氮氣吹掃功能，可滿足不同工藝需求。

• 性能較好：在高壓力下，獨特的排氣設計也能保證抽氣能力，且具有較好的預警和報警數據存儲功能，通過可編程的 LCD 控制器可進行手動預警設置，較好的傳感器配置能減少產品停機時間。

• 耐腐蝕：可選配耐腐蝕材料，能夠適應從如負載鎖定和 SEM 等輕負荷用途到腐蝕性工藝等廣泛的應用場景。

• 符合標準：符合 SEMI-S2、CE、NRTL 等標準，具有良好的安全性和可靠性。

技術參數

應用領域