EBARA 干式真空泵 EV-M 系列是專為應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體、液晶和太陽(yáng)能電池制造過(guò)程中產(chǎn)生大量副產(chǎn)物的高負(fù)荷工藝而設(shè)計(jì)的。

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 高效節(jié)能：采用智能控制系統(tǒng)，具備怠速模式，可根據(jù)實(shí)際負(fù)載情況自動(dòng)調(diào)節(jié)運(yùn)行狀態(tài)，有效降低能耗，實(shí)現(xiàn)顯著的節(jié)能效果。

• 耐腐蝕性能強(qiáng)：標(biāo)準(zhǔn)配置耐腐蝕性材料，能夠耐受腐蝕性氣體的侵蝕，適用于處理各種腐蝕性工藝氣體，滿足高負(fù)荷工藝需求。

• 抽氣速度快：采用多級(jí)羅茨型設(shè)計(jì)，與螺桿式真空泵相比，具有更高的氫氣抽速，能夠提供出色的抽氣 throughput，在惡劣工況下表現(xiàn)優(yōu)異。

• 占地面積小：設(shè)計(jì)緊湊，占用空間小，可節(jié)省寶貴的工廠空間，便于安裝和集成到各種真空系統(tǒng)中。

• 功能較好：搭載高性能通信功能，采用較好的控制方式，具有溫度保持功能和報(bào)警歷史記錄功能，可實(shí)現(xiàn)對(duì)泵的高度精確控制和狀態(tài)監(jiān)控。

技術(shù)參數(shù)

應(yīng)用領(lǐng)域