富士金 FPR?SD?71?6.35?2（FINE 系列 氣動高純隔膜閥）

一、型號解析

• FPR：FINE 系列 PURE 氣動隔膜閥（新一代高純氣動閥）

• SD：常開（Normally Open）、標準執行器

• 71：閥體規格（EP 電解拋光、VCR 接口、標準流路）

• 6.35：通徑 6.35 mm（1/4 英寸）

• 2：標準流量規格、Cv 代碼

二、接液部材質（全高純耐腐蝕）

• 閥體：SUS316L，EP 電解拋光（Ra ≤ 0.25 μm），無油無塵

• 隔膜：鎳?鈷合金（哈氏合金系），抗疲勞、低掉塵、耐強腐蝕

• 閥座：PCTFE，耐 HCl、HI、HF、Cl?、WF?、SiH? 等特氣

• 執行器：鋁合金陽極氧化，潔凈防靜電、耐腐蝕

• 結構：零死區設計，無滯留死角，氣置換優異

三、核心技術參數

• 公稱通徑：6.35 mm（1/4"）

• 接口形式：VCR 公頭（UJR），金屬墊片密封

• 最高工作壓力：1.0 MPa（10 bar）

• 流體溫度：?10℃ ～ +80℃

• Cv 值：0.35（N?，20℃）

• 泄漏等級：

• 內漏：閥座零泄漏（氣泡級）

• 外漏：≤5×10?12 Pa?m3/s（氦檢）

• 控制氣源：0.4～0.6 MPa，接口 M5×0.8

• 開關壽命：≥100 萬次

• 尺寸（mm）：約 65×40×55（長 × 寬 × 高）

• 重量：約 320 g

• 安裝：面板安裝（開孔 φ22）

四、主要特點

1. 超高潔凈：EP 電解拋光 + 無油處理，顆粒極低，滿足 8/12 寸與 SiC/GaN 工藝

2. 強耐腐蝕：鎳鈷合金隔膜 + PCTFE 閥座，適配幾乎所有半導體特氣

3. 高密封可靠：金屬隔膜 + VCR 金屬墊，氦級密封，長期真空 / 高壓穩定

4. 氣動自動化：常開型（斷電 / 斷氣時自動打開），適配 PLC 自動控制，響應快

5. 緊湊易集成：體積小、面板安裝密度高，氣體面板 / 特氣柜標配

五、適用氣體與應用場景

• 高純氣體：N?、Ar、He、H?、O?

• 腐蝕性特氣：HCl、HI、HF、Cl?、WF?、SiH?、NF?

• 典型用途：

• 半導體：刻蝕、沉積、擴散、清洗機臺、特氣柜（GC）、氣體面板（GP）

• 面板 / 光伏：OLED、LCD、光伏制程氣路控制

• 高純 / 腐蝕性氣體輸送、吹掃回路、旁路回路、真空隔離