富士金 FUNDL?71G?6.35?2（MEGA 系列 低流量手動高純隔膜閥）

一、型號解析

• FUNDL：MEGA 系列 Low-flow（低流量）手動隔膜閥

• 71G：閥體規格（EP 電解拋光、VCR 公頭、標準型）

• 6.35：通徑 6.35 mm（1/4 英寸）

• 2：標準低流量 Cv 代碼

二、接液部材質（全高純耐腐蝕）

• 閥體：SUS316L，EP 電解拋光（Ra ≤ 0.25 μm），禁油

• 隔膜：鎳?鈷合金（哈氏合金系），抗疲勞、低掉塵、耐強腐蝕

• 閥座：PCTFE，耐 HCl、HI、HF、Cl?、WF?、SiH? 等特氣

• 手柄：工程塑料，防靜電、耐腐蝕、帶開關到位手感

• 結構：低死區設計，流體滯留少，氣置換性能好

三、核心技術參數

• 公稱通徑：6.35 mm（1/4"）

• 接口形式：VCR 公頭（UJR），金屬墊片密封

• 最高工作壓力：1.0 MPa（10 bar）

• 流體溫度：?10℃ ～ +80℃

• Cv 值：0.2（N?，20℃，低流量特性）

• 泄漏等級：

• 內漏：閥座零泄漏（氣泡級）

• 外漏：≤5×10?12 Pa?m3/s（氦檢）

• 尺寸（mm）：長 57 × 高 53 × 寬 35；手柄長 40

• 重量：約 260 g

• 安裝：面板安裝（開孔 φ20.5）

四、主要特點

1. 低流量精準控制：Cv=0.2，比標準 FUND 系列（Cv=0.35）小約 40%，適合小流量吹掃、旁路與精密氣路

2. 超高潔凈低發塵：EP 電解拋光 + 無油處理，滿足 8/12 寸成熟制程與 SiC/GaN 輔助工藝

3. 強耐腐蝕：鎳鈷合金隔膜 + PCTFE 閥座，適配幾乎所有半導體特氣

4. 緊湊易集成：體積小、面板安裝密度高，特氣柜（GC）、氣體面板（GP）標配

5. 高密封長壽命：金屬隔膜 + VCR 金屬墊，氦級密封，長期真空 / 高壓穩定；隔膜疲勞壽命長

五、適用氣體與應用場景

• 高純氣體：N?、Ar、He、H?、O?

• 腐蝕性特氣：HCl、HI、HF、Cl?、WF?、SiH?、NF?

• 典型用途：

• 半導體：成熟制程隔離、吹掃回路、設備維修旁路、特氣柜手動隔離

• 面板 / 光伏：OLED、LCD、光伏制程小流量氣路控制

• 真空系統：高真空管路隔離與切換