一、基礎信息

• 型號：FCSP7000?20

• 產品類型：大流量熱式質量流量控制器（MFC）

• 量程規格：20 SLM（N?換算，標準升 / 分鐘）

• 系列：FCSP7000 系列，富士金大流量數字型 MFC

• 定位：半導體大宗氣體、大流量吹掃、CVD / 外延、SiC/GaN 產線大流量供氣控制，高精度、大流量、高耐壓、強耐腐蝕

二、型號含義

• FCSP：FCS?Thermal Premium 高性能熱式質量流量控制器

• 7000：7000 系列大流量本體，專為 SLM 級大流量設計

• ?20：20 SLM 標準量程

三、核心特點

1. 大流量高精度控制，適配 SLM 級供氣，控制精度 ±1% FS，重復性優異

2. 高速響應，抗壓力波動能力強，流量穩定性好

3. 數字智能型，標配 RS485 Modbus?RTU，支持遠程通訊、診斷、參數設置

4. 超高純潔凈處理，接液材質耐腐蝕，兼容自燃、劇毒、鹵素類特氣

5. 閥體結構堅固，耐壓等級高，適合大宗氣體主管路、集中供氣系統

四、接液部材質

• 閥體 / 傳感器：SUS316L，可做 EP 電解拋光

• 密封：金屬密封 / 氟橡膠密封可選

• 接口：標準 VCR / 卡套 / 焊接接口

五、關鍵技術參數

• 標準量程：20 SLM（N?）

• 控制精度：±1% FS

• 響應速度：＜1?s

• 最大工作壓力：0.4 MPa，耐壓 1.0 MPa

• 工作溫度：5～50 ℃

• 通訊：RS485（Modbus?RTU），模擬信號 0–5 V / 4–20 mA

• 泄漏：金屬密封外漏 ≤1×10?11 Pa?m3/s He

六、適用介質

七、典型應用

1. 半導體 Fab 大宗氣體大流量供氣

2. CVD、外延、退火設備工藝主氣路

3. SiC/GaN 第三代半導體大流量吹掃、載氣控制

4. 特氣柜、氣體面板大流量支路、批量氣體配比